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    博洋化学提醒您，在使用减薄用清洗剂时，务必注意以下事项：严格按照使用说明操作：不同的博洋化学减薄用清洗剂有着特定的使用方法和注意事项，只有严格遵守，才能确保清洗效果达到佳，同时保障操作的安全性。我们的产品说明书经过精心编写，详细阐述了每一个步骤和要点，务必仔细阅读并严格执行。做好防护措施：在使用清洗剂的过程中，应佩戴适当的防护用品，如手套、护目镜、口罩等。博洋化学的清洗剂虽经过严格的安全检测，但为了避免任何可能的风险，防护工作不可忽视。这不仅能保护您免受清洗剂可能带来的伤害，也是对您自身健康负责的表现。控制清洗时间和温度：根据博洋化学清洗剂的性质以及被清洗材料的特点，合理控制清洗时间和温度至关重要。清洗时间过长或温度过高，可能导致过度清洗，损坏材料；而时间过短或温度过低，则可能清洗不彻底。通过不断的实践和摸索，找到适合的清洗参数，以实现佳的清洗效果。妥善处理废液：清洗后的废液中可能含有有害物质，必须妥善处理，以避免对环境造成污染。可以采用中和、沉淀、过滤等方法进行初步处理，对于较为复杂的废液，也可委托专业的环保公司进行处理。博洋化学始终秉持环保理念，鼓励用户正确处理废液。 江苏半导体减薄用清洗剂配方技术质量比较好的减薄用清洗剂的公司。

    本发明提供如下技术方案：一种抛光减薄装置，包括：托盘，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圆；喷头，用于向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，以对所述待加工表面进行抛光；磁转子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通过旋转对所述待加工表面进行机械研磨，对所述待加工表面进行减薄。可选地，还包括控制部件；所述控制部件与所述磁转子和所述喷头相连，用于控制所述喷头和所述磁转子交替工作，以对所述待加工表面交替进行抛光和减薄。可选地，所述磁转子包括截面为半圆形的柱状磁性结构和位于所述磁性结构底部的研磨层，以通过所述研磨层对所述待加工表面进行机械研磨。可选地，所述研磨层为金属氧化物层，所述金属氧化物层包括三氧化二铝层。可选地，还包括：热板，设置于所述托盘底部，用于对所述托盘进行加热，以使所述待加工部件与所述托盘键合固定。可选地，所述待加工部件与所述托盘通过光刻胶键合固定。一种抛光减薄方法，包括：将待加工部件固定在托盘上，所述待加工部件包括inp基晶圆；通过喷头向所述待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对所述待加工表面进行抛光；通过磁转子旋转对所述待加工表面进行机械研磨。

    降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。由于本发明实施例中采用光刻胶对托盘和待加工部件进行了固定，因此，对待加工部件的待加工表面进行抛光和减薄之后，还包括：对待加工部件进行清洗；采用特定溶液对光刻胶进行腐蚀，以将待加工部件与托盘分离。具体地，在完成抛光和减薄后，可以采用直链烷基苯磺酸盐溶剂对待加工部件20进行清洗，用di水冲洗干净，40℃的氮气吹干。之后，将清洗后的待加工部件20和托盘10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盘10自动分离，取出待加工部件20后清洗干净即可。本发明实施例提供的方法，还包括：在磁转子运行一段时间后，更换磁转子。如磁转子12工作1小时后，可以将磁转子12更换为新的磁转子，以使磁转子与待加工表面贴合紧密，避免了传统减薄工艺中由于转子形变误差造成的加工精度失真。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。对所公开的实施例的上述说明。高效、环保的减薄用清洗剂，为您的生产带来绿色变化。

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