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    将待加工部件固定在托盘上包括：采用光刻胶将待加工部件固定在托盘上。具体地，将待加工部件背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶，如az4620光刻胶，然后在托盘表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶，如az4620光刻胶，之后，将托盘光刻胶面向上放于温度为90℃的热板上，将待加工部件光刻胶面和托盘光刻胶面贴合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar压强于待加工部件上进行键合，键合时间20min。s102：通过喷头向待加工部件的待加工表面喷涂抛光液，来对待加工表面进行抛光；s103：通过磁转子旋转对待加工表面进行机械研磨，来对待加工表面进行减薄。可选地，本发明实施例中，s102和s103可以交替进行，也就是说，控制磁转子旋转一段时间后，控制磁转子停止旋转，并控制喷头喷涂抛光液，停止喷涂抛光液后，再次控制磁转子旋转，以此类推。本发明实施例中，通过磁转子和喷头交替工作，实现了减薄和抛光两种工艺交替作用，使得减薄和抛光一体化完成，整个过程稳定，速度快，控制性好，重复度高，无粉尘污染，衬底减薄终厚度达到20μm，抛光面ra＜2nm。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力。减薄用清洗剂，专为去除多余涂层设计，不留痕迹。。广东中芯国际用减薄用清洗剂商家

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    本发明涉及玻璃减薄技术领域，具体涉及一种玻璃减薄设备。背景技术：随着便携式电子器件的发展，手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化，因此需要制造较薄的玻璃基板。为了制造较薄的玻璃基板，目前的采用的方法是浸泡式减薄法。用浸泡式减薄法减薄玻璃是将玻璃减薄液放入玻璃减薄设备的反应槽中，然后将玻璃放入玻璃减薄液中放置一定时间，使玻璃减薄液与玻璃反应，实现玻璃减薄。目前的浸泡式减薄法中，反应产物会悬浮于玻璃减薄液中，然后再粘附在玻璃上，造成不良品；并且，这种方法容易造成蚀刻不均，导致进行减薄后还需要进行抛光处理，提高了制备成本。鉴于上述缺陷，本发明创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本发明。技术实现要素：为解决上述技术缺陷，本发明采用的技术方案在于，提供一种玻璃减薄设备，包括蚀刻区，用于对竖直容纳在玻璃加工治具中的多个玻璃进行减薄处理；冲洗区，用于所述玻璃加工治具上的玻璃进行减薄前清洁和减薄后清洁；转换区，用于待减薄处理的所述玻璃加工治具加载到所述冲洗区中，并将减薄处理后的所述玻璃加工治具从所述冲洗区卸载到外部；制动组件。

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