在上述硅烷系偶联剂的含量处于上述含量范围内的情况下,能够调节添加剂本身凝胶化,且获得合适的sio2防蚀和sin蚀刻性能。(c)水本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述水可以为用于半导体工序的去离子水,推荐使用18mω/㎝以上的上述去离子水。上述水的含量可以为使包含本发明的必须成分以及除此以外的其他成分的组合物总重量成为100重量%的余量。推荐可以按照本发明的组合物总重量的2~45重量%来包含。<选择添加剂的方法、由此选择的添加剂及利用其的蚀刻方法>此外,本发明提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*对上述氮化物膜选择性蚀刻的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。上述蚀刻液组合物中说明的、对于添加剂选择等的一切内容均可以同样地应用于本发明的选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的添加剂的方法、由此选择的添加剂以及利用该添加剂的蚀刻方法。具体而言,提供选择用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜的蚀刻液组合物的硅烷系偶联剂的方法、由此选择的硅烷系偶联剂以及包含该硅烷系偶联剂的蚀刻方法。好的蚀刻液的标准是什么。广州哪家蚀刻液蚀刻液销售价格
因此存在开发蚀刻液组合物时会过度耗费时间和费用的问题。美国公开**第2号公开了在3dnand闪存的制造工序中,对于硅氧化物膜和硅氮化物膜*选择性蚀刻硅氮化物膜的蚀刻液组合物。然而,为了选择构成成分的种类和浓度,不得不需要测试蚀刻液组合物的蚀刻性能,实际情况是,与上述同样,仍然没有解决在找寻蚀刻液组合物的适宜组成方面过度耗费时间和费用的问题。现有技术文献**文献**文献1:美国公开**第2号技术实现要素:所要解决的课题本发明是为了改善上述以往技术问题的发明,其目的在于,提供用于选择硅烷系偶联剂的参数以及包含由此获得的硅烷系偶联剂的蚀刻液组合物,所述硅烷系偶联剂作为添加剂即使不进行另外的实验确认也具有在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻氮化物膜的效果和防蚀能力。此外,本发明的目的在于,提供一种以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中能够*选择性蚀刻上述氮化物膜为特征的蚀刻液组合物。此外,本发明的目的在于,提供利用上述蚀刻液组合物的蚀刻方法。此外,本发明的目的在于,提供选择上述蚀刻液组合物所包含的硅烷系偶联剂的方法。解决课题的方法为了实现上述目的,本发明提供一种蚀刻液组合物,其特征在于,包含磷酸、硅烷。安徽京东方用的蚀刻液蚀刻液销售公司哪家的蚀刻液价格比较低?
且过滤部件能将内部的过滤板进行拆卸更换,有效的提高了装置连接安装的便利性。2.高蚀刻速率无残留酸性铝蚀刻液生产装置,连接构件,连接构件设置在搅拌仓的底部,连接构件与搅拌仓固定连接,连接构件能将装置主体内部的两个构件进行连接并固定,且在将两构件进行连接或拆卸的时候,不需要使用任何工具就能完成安装和拆卸工作,有效的提高了装置连接的实用性。附图说明图1为本实用新型的整体结构示意图;图2为本实用新型的过滤部件剖视图;图3为本实用新型的连接构件剖视图;图4为本实用新型的内部构件连接框架图。图中:1、装置主体,2、支撑腿,3、电源线,4、单片机,5、控制器,6、防滑纹,7、密封阀门(z45x-16),8、收集仓,9、过滤部件,10、常闭式密封电磁阀(zca-15biii02-10),11、连接构件,12、海绵层,13、搅拌电机(5ik),14、去离子水储罐,15、磷酸储罐,16、醋酸储罐,17、硝酸储罐,18、阴离子表面活性剂储罐,19、聚氧乙烯型非离子表面活性剂储罐,20、氯化钾储罐,21、硝酸钾储罐,22、密封环,23、搅拌仓,24、滑动盖,25、收缩弹簧管,26、过滤板,27、螺纹管,28、活动轴,29、密封软胶层。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图。
下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1是实施例一中公开的储存罐与拖车的安装结构图;图2是实施例二中公开的储存罐与拖车的安装结构图;图3是实施例三中公开的储存罐与拖车的安装结构图;图4是实施例四中公开的储存罐与拖车的安装结构图。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例一铝蚀刻液生产设备,包括混合罐、过滤器和数个小型的储存罐,混合罐通过液管与过滤器连接,过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管,每个储存罐的进液口和出液口中安装有一只单向液动阀,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,将过滤后的铝蚀刻液注入储存罐内暂存。请参阅图1,储存罐10固定在一辆液压升降式拖车20的顶部,在过滤器的下方设置地磅30,载有空储存罐的拖车置于地磅上方,过滤器的出液管自动下行插入储存罐的进液口中,当地磅所测得的重量达到系统预设重量时,过滤器的出液管自动上行离开储存罐。将装满的储存罐从铝蚀刻液生产车间移动至自动灌装车间中,将灌装头的快速接头插入储存罐的出液口中便可将储存罐内的铝蚀刻液分装。拖车的底部具有滚轮21,即使滚轮带有刹车。如何挑选一款适合公司的蚀刻液?
也很难保证拖车在地磅顶部不移动。在地磅的顶部平台中设置有两条卡块40,卡块与平台之间形成一插槽,在地磅的顶部设置有包括气缸50和压紧块60的气动夹紧机构,压紧块位于插槽中,气缸的伸缩杆与压紧块固连。拖车的边缘沿插槽插入后,气缸带动压紧块下行将拖车紧紧压在地磅的顶部。实施例二本实施例基于实施例一。如图2所示,在拖车的顶部设置有一圈围设在储存罐外部的护栏70,以防止其它物品碰撞储存罐。实施例三本实施例基于实施例一。如图3所示,在拖车的顶部设置有一集液盒,储存罐安装在集液盒80中,过滤器的出液管及灌装头的快速接头从储存罐中拔出时滴落的铝蚀刻液,由集液盒进行收集。实施例四本实施例基于实施例一。如图4所示,拖车的顶部于储存罐的旁侧设置有集液腔室22,过滤器的出液管及灌装头的快速接头从储存罐中拔出时滴落的铝蚀刻液被集液腔室内收集。综上所述,将原有的大型储存罐更换成数个小型储存罐,并采用液压升降式拖车带着储存罐在铝蚀刻液生产车间与自动灌装车间之中周转,如此便可为铝蚀刻液生产设备配备全自动灌装线,即提高了单瓶灌装精度和效率,又降低了企业的人力成本投入;而且,将原有的大型储存罐更换成数个小型储存罐。哪家的蚀刻液的价格优惠?合肥江化微的蚀刻液蚀刻液推荐厂家
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618光电行业ITO**蚀刻液,专门针对氧化铟锡(ITO)玻璃导电薄膜镀层图线的脱膜蚀刻,它对于高阻抗ITO玻璃导电膜(PET-ITO)以及低阻抗ITO玻璃导电膜(PET-ITO)都且有优良的蚀刻速度与效果。具有速度快、侧蚀小、无沉淀、气味小、不攻击抗蚀层,不攻击基材,操作控制简便灵活等非常***的优点,可采取自动控制系统补加,也可人工补加方式。更重要的是丝毫不改变产品的导电阻抗电性数据。二、产品特点1)速度快市场之一般ITO蚀刻液速度大都在0.5nm/s,而KBX-618AITO蚀刻液蚀刻速度正常控制在2-10nm/s,速度快(具体设备情况有所差异)2)气味小、无烟雾、对皮肤刺激*目前市场蚀刻液一般有强烈之气味,温度升高后放出一种刺鼻气味,对操作人员身体健康和工作环境极为不利,但KBX-618A酸性蚀刻液采用的是有机活性添加剂3、用于有机基材膜,及各类玻璃底材,不影响生产材料导电阻抗数据。不攻击底材,不攻击抗蚀膜。KBX-556ITO**褪膜液一、产品简介KBX-556引进国外配方,采用进口原料,非常规易燃溶剂,即非有毒醇醚硫等物质,是采用环保的极性活性剂,可以有效、快速地去除水溶性干膜,在板面不会留下残渣。在褪极细线宽线距板时效果尤其明显,不会攻击聚酰亚胺,PET,ITO,硅晶体,液晶屏,及弱金属。广州哪家蚀刻液蚀刻液销售价格