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实施例1~6:按照表1配方将二甲基亚砜、一乙醇胺、四甲基氢氧化铵、硫脲类缓蚀剂、聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂、n-甲基吡咯烷酮和去离子水混合,得到用于叠层晶圆的光刻胶剥离液。表1:注:含量中不满100wt%的部分由去离子水补足余量。以cna披露的光刻胶剥离液作为对照例,与实施例1~6所得用于叠层晶圆的光刻胶剥离液进行比较试验,对面积均为300cm2的叠层晶圆上的光刻胶进行剥离并分别测定剥离周期、金属镀层的腐蚀率和过片量(剥离的面壁数量)。对比情况见表2:表2:剥离周期/s金属腐蚀率/ppm过片量/片实施例1130~15015376实施例2130~15016583实施例3130~15017279实施例4130~15015675实施例5130~15016372实施例6130~15017681对照例180~20022664由表2可知,本用于叠层晶圆的光刻胶剥离液通过加入硫脲类缓蚀剂和聚氧乙烯醚类非离子型表面活性剂,使剥离效率有明显的提升,对金属腐蚀率降低20%以上,而且让过片量提高10%以上。以上所述的*是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。嘉兴铜钛蚀刻液剥离液报价如何挑选一款适合公司的剥离液?
所述胶面剥离结构8上方安装有收卷调速器801,所述收卷调速器801一侧安装有收卷驱动电机802,所述收卷驱动电机802一侧安装有辊固定架803,所述辊固定架803一侧安装有胶水盛放箱804,所述胶水盛放箱804下方安装有点胶头805,所述点胶头805下方安装有卷边辊806,所述卷边辊806一侧安装有胶面收卷辊807,所述胶面剥离结构8一侧安装有电加热箱9,所述电加热箱9下方安装有热风喷头10,所述热风喷头10下方安装有干燥度感应器11,所述干燥度感应器11下方安装有电气控制箱12,所述电气控制箱12上方安装有液晶操作面板13。本实施例中,所述主支撑架1与所述横向支架2通过螺栓连接,所述伺服变频电机3与所述电机减速箱4通过导线连接。本实施例中,所述印刷品传送带5与所述印刷品放置箱6通过皮带连接,所述电加热箱9与所述胶面剥离结构8通过导线连接。本实施例中,所述油墨放置箱701与所述油墨加压器702通过管道连接,所述油墨加压器702与所述高压喷头703通过管道连接,所述印刷辊705共有两个,对称设置,所述防溅射挡板704与所述油墨放置箱701焊接。本实施例中,所述收卷调速器801与所述收卷驱动电机802通过导线连接,所述辊固定架803与所述胶面收卷辊807通过轴连接。
701、油墨放置箱;702、油墨加压器;703、高压喷头;704、防溅射挡板;705、印刷辊;8、胶面剥离结构;801、收卷调速器;802、收卷驱动电机;803、辊固定架;804、胶水盛放箱;805、点胶头;806、卷边辊;807、胶面收卷辊;9、电加热箱;10、热风喷头;11、干燥度感应器;12、电气控制箱;13、液晶操作面板。具体实施方式下面结合附图对本**技术作进一步说明:如图1-图4所示,一种印刷品胶面印刷剥离复合装置,包括主支撑架1、横向支架2、伺服变频电机3、电机减速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷结构7、胶面剥离结构8,所述主支撑架1上方设置有所述横向支架2,所述横向支架2上方设置有所述伺服变频电机3,所述伺服变频电机3上方设置有所述电机减速箱4,所述电机减速箱4上方安装有印刷品传送带5,所述印刷品传送带5一侧安装有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一侧安装有所述表面印刷结构7,所述表面印刷结构7上方设置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安装有油墨加压器702,所述油墨加压器702下方安装有高压喷头703,所述高压喷头703一侧安装有防溅射挡板704,所述防溅射挡板704下方安装有印刷辊705,所述表面印刷结构7一侧安装有所述胶面剥离结构8。如何挑选一款适合自己公司的剥离液?
上述组分中,酰胺是用于溶解光刻胶;醇醚是用于润湿、膨润、溶解光刻胶的;环胺与链胺,用于渗透、断开光刻胶分子间弱结合力;缓蚀剂,用于降低对金属的腐蚀速度;润湿剂,能够增强亲水性,使得剥离液亲水性良好,能快速高效地剥离溶解光刻胶。进一步技术方案中,所述的步骤s3中重新制备剥离液新液,制备过程中加入酰胺化合物或醇醚化合物,其中重新制备新液时,加入的纯化液体质量分数为:70%-95%,加入的添加剂质量分数为:5%-10%;加入的酰胺化合物质量分数为:0-15%;加入的醇醚化合物质量分数为0-5%。在制备过程中额外加入酰胺化合物以及醇醚化合物是为了调节中心制备的剥离液新液中各组分的质量分数,将配比调节到更优的比例,使得剥离液新液的效果更好。经由上述的技术方案可知,与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:本发明对剥离液废液进行加压、蒸馏等处理,得出纯化液体,该纯化液体中所含的物质是剥离液新液中所含有的某些组分,而通过预先制备添加剂,可以在得出纯化液体后直接加入添加剂以及原材料,重新配备剥离液新液,使得剥离液废液得以循环再生,减少资源的浪费以及对环境的危害。哪家剥离液质量比较好一点?池州什么剥离液生产
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根据对华新光电、日东集团的剥离液成分进行分析得知,剥离液主要成分为单乙醇胺(MEA),二甲亚砜(DMS0)和二乙二醇单丁醚(BDG),其中市场上大部分以二乙二醇单丁醚居多。剥离液废液多呈深黑色且气味大,由以下几种组分构成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和肿胺为主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的极性有机溶剂,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),环丁基砜、二甲基亚砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、0.001~3%重量的金属抗蚀剂,如2-氨基环己醇、2-氨基环戊醇等。根据上述分析可以看出,剥离液中大部分是有机溶剂,可以加以回收资源化利用,或者将剥离废液进行脱色净化处理后再用于生产中,配成剥离液。当前国内主要产生剥离液的厂家主要分布在天津及深圳一带,均是高新技术发达区域,随着国内经济及城市的发展,剥离液产废地点将越来越***,也将引起环保**的重视及关注。剥离液主要产废厂家诸如上海和辉光电有限公司、深圳市聚飞光电股份有限公司、深圳市三利谱光电科技股份有限公司、深圳市联建光电服份有限公司、深圳成光兴光电技术股份有限公司、池州什么剥离液生产
苏州博洋化学股份有限公司成立于1999-10-25年,在此之前我们已在高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液行业中有了多年的生产和服务经验,深受经销商和客户的好评。我们从一个名不见经传的小公司,慢慢的适应了市场的需求,得到了越来越多的客户认可。公司业务不断丰富,主要经营的业务包括:高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液等多系列产品和服务。可以根据客户需求开发出多种不同功能的产品,深受客户的好评。公司与行业上下游之间建立了长久亲密的合作关系,确保高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液在技术上与行业内保持同步。产品质量按照行业标准进行研发生产,绝不因价格而放弃质量和声誉。在市场竞争日趋激烈的现在,我们承诺保证高纯双氧水,高纯异丙醇,蚀刻液,剥离液质量和服务,再创佳绩是我们一直的追求,我们真诚的为客户提供真诚的服务,欢迎各位新老客户来我公司参观指导。