冷箱本系统的作用是去除氩气中的氮气,氢气,一氧化碳等杂质;
1.板式换热器:将低温精馏后的产品氩气及废气通过换热器进行冷量回收并使粗氩气温度从常温降温至工况所需的温度(-157℃);2.精馏塔主塔:利用低温精馏的原理,在主塔顶部蒸发器得到5N标准的产品氩气3.精馏塔II塔:从主塔顶部引出一股废气,由于废气中含有大量的氩组分。气柜是用于贮存各种氩气气体,平衡气体需用量的不均匀性的一种容器设备氩气双膜气柜由内外两层薄膜组成,中间充满了压缩空气。当单晶炉产生的废气进入双膜气柜时,它会压缩和储存起来,双膜气柜主要由底膜、内膜、外膜、恒压控制柜、安全保护器及一些控制设备和辅助材料组成。其工作原理如下:底膜、内膜和外膜共同形成两个空间。内膜与底膜之间形成容量可变的气密空间,用于储存沼气。充气外膜形成球形保护外壳,外膜与内膜夹层之间的空间作为压力调节空间,以保持压力平衡。利用外膜进气鼓风机恒压,当内膜气量减少时,气柜压力下降,外膜通过鼓风机补充空气到内外膜之间,保持内膜气体的设计压力。当气量增加时,气柜压力上升,夹层内多余空气会排出,使内膜气体压力始终恒定在一个需要的设计压力。 原料气压缩机是一种用于压缩原料气体的设备。陕西氩气回收装置制造价格
关于氩气纯化的方法第一种直接脱氧法。就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸收掉氩气中的水份,使氩气的含水量小于1ppm。第二种是采用吸气剂。在一定温度下,吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后,氩气的纯度可达到6个九,这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。利用吸气剂纯化后氩气的纯度:O2≤0.2ppm、H2≤0.5ppm、N2≤1ppm、CO+CO2≤0.5ppm、CH4≤0.5ppm、水份≤1ppm第一种方法设备投资小,设备中脱氧剂的使用寿命一般大于四年。第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大,吸气剂使用寿命为两年。★:迪凯机电也可根据客户要求,直接做高压的,这样就可省掉使用模压机增压工序。还可根据客户要求,配备分析仪在线时时检测设备中气体纯度。压力变送器全自动供应站氩气回收装置,安全、可靠,值得信赖。
氩气回收系统的组成
一、氩气回收装置氩气回收装置是氩气回收系统的重要组成部分,主要用于将废氩气进行回收和处理。它包括以下几个关键设备:
1.压缩机:用于将废氩气进行压缩,提高氩气回收效率。
2.分离器:通过物理或化学方法将废氩气中的杂质分离,使氩气回收后的气体纯度达到要求。
3.吸附剂:用于吸附废氩气中的杂质,如水分、油污等。常用的吸附剂有活性炭、分子筛等。
4.冷却系统:用于降低废氩气的温度,使其更易于分离和处理。
二、控制系统氩气回收系统还包括一个控制系统,用于监测和控制氩气回收装置的运行状态。控制系统通常由以下几个部分组成:1.传感器:用于监测氩气回收装置中的压力、温度等参数,并将其转化为电信号。2.控制器:接收传感器的信号,并根据设定的参数进行控制,保证氩气回收装置的正常运行。3.仪表:用于显示氩气回收装置的运行状态,如压力表、温度计等。
高纯氩气用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气。
主要用途:欢迎新老用户选择我公司产品:氩气净化机,氩气净化器,高纯氩气净化,高纯氩气净化设备,高纯氩气纯化设备,高纯氩气纯化装置,YAC系列氩气净化设备,全自动氩气纯化设备,大型氩气净化设备,硅材料行业用氩气净化设备,硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气站氩气净化设备,气站氩气纯化器,气站用高纯氩设备,单晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,多晶硅行业用氩气除氧、干燥设备,高纯氩气提纯设备,氩气提纯机,高纯氩气过滤器。 空气纯化器是一种用于净化空气的设备。
压力变送器安装在各种工业现场,如管道、容器、泵、压缩机等,广泛应用于化工、石油、电力、食品等行业。将测压元件传感器感受到的气体、液体等物理压力参数转变成标准的电信号(如4~20mADC等),以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。安装方式螺纹直装式,法兰安装,远传式。适用于工业自控环境.它的种类很多,电阻应变片、半导体应变片、压阻式、电感式、电容式、谐振式及电容式加速度传感器等等指以输出为标准信号的压力传感器,是一种接受压力变量按比例转换为标准输出信号的仪表。高效能耗,可靠稳定,氩气回收装置将成为您的得力助手。压力变送器供应站
原料过滤器是一种用于过滤原料的设备.陕西氩气回收装置制造价格
氩气回收工艺流程为:(1)氩气液化工作过程:氩气来自液氩贮槽,处于饱和态或过热度不大的氩气进入壳体顶部,充满板式氩气通道侧,由于液氮侧温度较低,蒸发侧与冷凝侧的温差较大,所以氩气在板式氩气侧开始冷凝,液滴逐渐汇集在底部,成为液氩;(2)液氮蒸发工作过程:液氮来自下塔顶部,经过节流阀节流至较低压力后,进入氩气回收器的液氮工作腔,液氮由底部的导流片进入板式通道,与氩气进行换热,蒸发后氮气自顶部导流片出,进入氮气工作气相腔体。工艺的控制流程为:(1)V2为液氮进气口调节阀,由液位计LIC001所指示的液位控制阀门的开度,当液位低时,V2阀开度开大;当液位高时,V2阀开度关小;(2)V1为氮气出气口调节阀,有压力计PIC001所指示的压力控制阀门的开度,当压力高时,开大V1,压力低时,关小V1阀;(3)V3为安全阀,作为氮气的压力安全保护;(4)V4为液氩出口控制阀,由液位LIC002对其进行控制,当液位高时,开大V4阀,当液位低时,关小V4阀。同时对壳体底部设置残液排放;(5)TI001为液氮的温度指示,TI002为气氩的温度指示。两者之差为回收器换热温差。陕西氩气回收装置制造价格