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河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造

来源: 发布时间:2026年01月31日

电子级稀有气体与卤素气体要求杂质含量低于 ppb 级,上海弥正建立千级洁净纯化车间,采用 “高温脱氧 + 低温吸附 + 激光精馏” 技术,实现痕量杂质的深度去除。针对电子级氩气,通过钯催化剂高温脱氧与 10K 低温吸附,使氧杂质≤0.01ppb,水分≤0.1ppb;针对电子级氟气,采用激光精馏技术分离同位素杂质,纯度达 99.9995%。产品符合 SEMI C12 标准,某晶圆厂应用后,芯片缺陷密度降低 60%。

针对大规模用气客户,上海弥正推出稀有气体现场制气服务,在客户厂区搭建模块化提纯装置,直接从空气或工业副产品中提取高纯气体。例如为光伏企业搭建现场氩气提纯装置,原料为工业粗氩,提纯后纯度达 99.999%,供应成本降低 35%;为半导体企业提供现场氦气回收提纯系统,回收率达 90%,年减少氦气消耗 40%。该模式减少运输环节,纯度稳定性提升至 99.9%,某大型电子企业应用后,生产停机时间减少 80%。 氦气用于声学测试,作为传声介质可减少干扰,提升测试精度。河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造

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稀有气体是元素周期表第 18 族元素的统称,包括氦、氖、氩、氪、氙、氡六种,其中氦至氙五种稳定存在于大气中,均具有外层电子稳定结构,化学性质极不活泼,故曾被称为 “惰性气体”。这种 “惰性” 使其成为保护气的理想选择,而通电发光、强 X 射线吸收等独特物理特性,又让其在照明、医疗、半导体等领域大放异彩。上海弥正依托深度提纯技术,实现稀有气体纯度梯度覆盖 99.99% 至 99.9999%,其中电子级氩气杂质含量≤0.1ppm,医用级氙气纯度达 99.995%。某半导体企业使用其高纯氩气作为焊接保护气后,晶圆焊接缺陷率从 2.3% 降至 0.4%;某医院采用其超纯氙气进行 MRI 成像,肺部病灶检出率提升 30%,充分彰显稀有气体在场景的不可替代性。河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造碘蒸气用于甲状腺功能检测,通过放射性碘追踪,辅助诊断甲状腺疾病。

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卤素气体可通过化学反应改变材料表面特性,实现防腐、耐磨等功能提升。在金属表面处理中,氟气可制备氟化物涂层,提升金属耐腐蚀性,某海洋工程企业应用后,设备海水腐蚀速率降低 80%;在聚合物改性中,氯气等离子体可增加材料表面粗糙度,提高粘接强度,某包装企业使用后,薄膜复合强度提升 30%;在玻璃加工中,氟化氢气体可用于玻璃蚀刻,制作精细图案。上海弥正可根据材料特性定制卤素处理方案,某电子企业采用其氟等离子体处理技术后,芯片封装粘接良率达 99.8%。

稀有气体的提纯需经过空气分离、粗提、精提多道工序,上海弥正采用 “低温精馏 + 膜分离 + 精密吸附” 耦合工艺,实现从空气原料到高纯产品的高效转化。首先通过低温精馏分离空气得到粗氩、粗氪氙混合液;再利用膜分离技术富集低浓度组分,如氪氙回收率提升至 95%;通过分子筛与活性炭精密吸附,去除水分、烃类等杂质,使氩气纯度达 99.9999%,氙气纯度达 99.9995%。该工艺能耗较传统方法降低 30%,某科研机构使用其提纯的氦气后,超导实验稳定性提升 40%。
氙气闪光灯发光强度大,是高速摄影的重心光源,捕捉瞬间动态效果优异。

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氯气的强氧化性使其在纺织漂白与工业废气处理(脱硫脱硝)领域发挥重要作用,兼具高效性与经济性。在纺织工业中,氯气用于棉麻织物的漂白处理,通过与织物中的天然色素发生氧化反应,可去除色素杂质,提升面料白度与染色均匀性。某纺织厂采用氯气漂白工艺处理纯棉坯布,白度值从 65 提升至 90 以上,染色后色牢度(皂洗、摩擦)达 4 级以上,满足服装面料要求。在工业废气处理中,氯气用于脱硫脱硝技术,通过氯气与废气中的硫化物(SO₂)、氮氧化物(NOx)发生氧化还原反应,将其转化为可回收的硫酸盐、硝酸盐,实现污染物资源化。某电厂采用氯气脱硫脱硝系统,SO₂去除率达 95%,NOx 去除率达 85%,副产品硫酸铵可作为肥料回收,年创产值 500 万元。此外,氯气还用于制备次氯酸钠消毒液,广泛应用于养殖行业的水体消毒,某水产养殖场使用氯气制备的消毒液,水体细菌总数降至 10²CFU/mL 以下,鱼虾成活率提升 30%。氟气与铀反应生成六氟化,是核工业中铀浓缩的关键原料,支撑核能发展。河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造

氦气用于气球嘉年华、庆典活动,安全无毒且漂浮时间长,装饰效果佳。河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造

氙气凭借优异的光学性能与生理惰性,在医疗、光电技术等领域拥有多元应用,其技术价值体现在高发光效率、麻醉效果与极端环境适应性上。在医疗领域,氙气是一种高效的全身麻醉剂,麻醉效果强且苏醒快,对心血管系统影响小,适用于复杂手术(如心脏手术、神经外科手术)。某三甲医院使用氙气麻醉剂进行心脏搭桥手术,患者麻醉诱导时间但 3 分钟,苏醒时间≤15 分钟,术后并发症发生率较传统麻醉剂降低 40%。在光电技术领域,氙气闪光灯发光强度大、脉冲持续时间短(纳秒级),是高速摄影、激光泵浦与光刻技术的重心光源。某半导体芯片制造企业使用氙气闪光灯进行光刻曝光,光源波长稳定在 193nm,可实现芯片电路的高精度蚀刻,支撑 7nm 以下先进制程芯片的生产;在汽车照明中,氙气灯(HID)凭借高亮度、高穿透力,成为汽车的标配,其照射范围广、色彩接近自然光,可提升夜间驾驶安全性。此外,氙气还用于太空探测,填充于航天探测器的传感器中,可耐受太空极端温度(-200℃至 150℃)与辐射环境,保障仪器正常工作;在呼吸中,氙气与氧气混合使用,可改善肺部通气功能,辅助慢性阻塞性肺疾病(COPD),提升患者血氧饱和度。河北氖气惰性气体稀有气体/卤素气体半导体制造

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