上海弥正针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体制造,打造专属超高纯气体解决方案,以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体,其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级,金属杂质含量≤0.01ppb;用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级,确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性,对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体,该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量,有效减少外延层缺陷,提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合,并配备工艺适配团队,协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后,外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下,器件的击穿电压提升 20%,成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。超高纯氯气(纯度 99.99%)适配半导体刻蚀,准确去除硅基材料。江苏甲烷超高纯气体厂家供应

上海弥正针对不同芯片制程需求,提供电子级超高纯气体定制服务,从纯度等级、杂质控制到供应方式均实现准确适配。可根据客户工艺要求,定制 5N-9N 级不同纯度的气体产品,其中 7N 级以上超高纯气体金属杂质含量可控制在 0.001ppb 以下,完全满足 7nm 及以下先进制程的严苛要求。针对特定工艺环节,准确控制目标杂质含量,如光刻工艺用气体可将碳氢化合物杂质控制在 0.05ppb 以下,避免影响光刻精度;掺杂工艺用气体可准确调控掺杂元素浓度,确保芯片电性能稳定。提供 “瓶装 + 管道” 双供应模式,小批量生产采用高压气瓶供应,大批量连续生产采用管道输送,输送系统可与客户生产设备无缝对接。配备专业技术团队,提供工艺适配咨询、气体使用培训与设备调试服务,帮助客户优化气体使用方案。某先进制程芯片企业应用定制化气体后,芯片制程良率提升 3.5%,工艺调整周期缩短 40%,成为客户工艺升级的重心合作伙伴。1.2-丁二烯超高纯气体生物医药超高纯锗烷纯度达 99.99%,用于红外光学薄膜与半导体制造。

上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列,以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体(涵盖氮气、氦气、氩气等)纯度均达 6N 级以上,在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下,仍能保持稳定的物理性质,无组分分离或纯度衰减现象,低于 - 90℃,避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域,开发了火箭燃料系统用超高纯氦气,在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态,用于系统加压与检漏,检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s;针对冷链物流,提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气,用于生鲜食品的低温气调保鲜,可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝热气瓶包装,配备低温 - resistant 阀门与压力监测装置,确保在低温存储与运输过程中的安全性与密封性。某航天科技集团应用后,火箭燃料系统的检漏准确率达 100%,发射前的地面测试效率提升 30%;某冷链物流企业使用后,进口生鲜的损耗率从 12% 降至 3%,经济效益明显。
上海弥正针对跨境电商与外贸企业,提供符合国际标准的超高纯气体出口服务,覆盖全球主要制造市场,实现合规与稳定的全球供应。所有出口气体均通过 RoHS、REACH 等国际认证,纯度与杂质控制指标符合 SEMI 国际半导体产业协会标准与 ISTA 国际运输标准,确保顺利通过各国海关检验。采用国际通用的高压气瓶包装,瓶身标识符合危险品运输要求,配备多语言安全说明书与质量检测报告;运输过程中采用专业危险品运输公司,确保运输安全与气体品质稳定。提供出口报关、物流跟踪等一站式服务,协助客户解决跨境运输中的各类问题,供应周期可准确控制在 15-30 天。某跨境半导体材料企业应用后,产品顺利进入欧美市场,海外客户满意度达 98%,气体在长途运输后纯度衰减率≤0.1%,完全满足全球制造企业的供应要求。超高纯一氧化二氮(杂质≤1ppm)用作半导体掺杂工艺气体。

上海弥正超高纯三氟化氮(5N 级纯度),是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体,以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以内,其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb,能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物,且反应产物易挥发,无需额外复杂清洗步骤,有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统,气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率,降低环境排放与使用成本,符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后,晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%,刻蚀工艺效率提升 15%,单晶圆制造成本降低 3%,同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准,成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。超高纯气体采用不锈钢气瓶储存,防止运输过程中二次污染。浙江丙烯超高纯气体
超高纯气体输送管道需钝化处理,避免内壁杂质影响气体纯度。江苏甲烷超高纯气体厂家供应
上海弥正推出超高纯气体租赁服务,为中小批量生产企业与科研机构提供灵活的气体供应方案,有效降低前期投入成本。租赁服务涵盖气瓶、减压阀、流量控制器等全套设备,客户无需购买昂贵的储存与输送设备,需根据实际使用量支付气体费用,设备维护与保养由上海弥正全程负责。可提供短期租赁(1-3 个月)与长期租赁(1 年以上)两种模式,租赁期间支持气体品种与纯度的灵活调整,满足客户不同阶段的使用需求。配备专业团队定期检查租赁设备运行状态,确保气体供应稳定与使用安全,同时提供的设备操作培训服务。某中小型电子企业应用租赁服务后,前期设备投入成本降低 80%,气体使用成本节约 30%,同时避免了设备闲置浪费,根据生产需求灵活调整供气规模,成为中小企业降低运营成本的方案。江苏甲烷超高纯气体厂家供应
上海弥正气体有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标,有组织有体系的公司,坚持于带领员工在未来的道路上大放光明,携手共画蓝图,在上海市等地区的电工电气行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源,也收获了良好的用户口碑,为公司的发展奠定的良好的行业基础,也希望未来公司能成为*****,努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量,我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息,斗志昂扬的的企业精神将**上海弥正气体供应和您一起携手步入辉煌,共创佳绩,一直以来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,员工精诚努力,协同奋取,以品质、服务来赢得市场,我们一直在路上!