上海四氟化硅超高纯气体芯片制造

上海弥正超高纯氮气（纯度达 6N 级），专为半导体晶圆加工设计，以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺，将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下，完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体，它能有效隔绝空气与工艺环境接触，防止晶圆表面氧化或污染，保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统，气瓶内壁经电解抛光处理，避免二次污染，气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后，晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，连续供应 12 个月无纯度波动问题，完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求，成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。

超高纯六氟化硫纯度达 99.999%，用作高压电气设备绝缘气体。上海四氟化硅超高纯气体芯片制造

上海弥正构建覆盖 “生产 - 包装 - 运输 - 回收” 全生命周期的低碳化超高纯气体供应体系，为注重可持续发展的企业提供全链条碳减排支持。生产环节采用节能型提纯设备，结合余热回收系统，能耗较传统设备降低 30%；包装环节采用可重复使用的不锈钢气瓶，替代一次性包装，气瓶回收率达 98%，减少固体废弃物产生；运输环节优化物流网络，采用新能源危险品运输车辆，短途运输碳排放降低 100%，长途运输通过集中配送减少车辆空驶率，碳排放降低 40%。为每批次产品提供详细的碳足迹报告，清晰标注各环节碳排放数据，并协助客户将其纳入自身的 ESG 报告体系。某跨国电子企业采购该低碳供应方案后，其电子产品的包装环节碳排放减少 55%，全产品生命周期碳足迹降低 18%，在国际市场的绿色竞争力明显提升，获得多个国际品牌的优先采购权。上海氯气超高纯气体生物医药超高纯氘气（纯度 99.999%）用作核磁共振成像的造影气体。

上海弥正超高纯硅烷（5N 级纯度），是半导体化学气相沉积（CVD）与光伏薄膜电池制造的**原料，以 “高纯度 + 高稳定性” 助力薄膜制备。采用络合反应与吸附提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，避免影响薄膜沉积质量。在半导体制造中，用于制备多晶硅、二氧化硅等薄膜，薄膜均匀性与致密度优异；在光伏产业中，用于薄膜太阳能电池的硅基薄膜沉积，提升电池转换效率。采用特用耐腐蚀气瓶包装，配备防爆阀门与压力监测装置，储存与运输过程中严格控制温度与压力，避免气体分解。某半导体企业应用后，薄膜沉积均匀性提升 4%，芯片电性能稳定性改善；某光伏企业使用后，薄膜电池转换效率提升 0.6%，薄膜附着力增强，完全满足半导体与光伏产业的先进制程要求。

上海弥正超高纯乙硼烷（5N 级纯度），专为 FinFET、GAA（全环绕栅极）等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计，以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术，将杂质含量控制在极低水平，其中磷、砷等杂质含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中，它能提供高浓度的硼离子，实现对半导体材料的准确、浅度掺杂，形成高性能的 P 型半导体层，其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压，对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案，可根据客户工艺需求，将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气，采用不锈钢管道输送，配备在线浓度监测与自动报警系统，确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后，GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V，开关电流提升 20%，成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。超高纯氪气（纯度 99.999%）适配红外探测器制造，提升传感灵敏度。

上海弥正精密仪器校准用超高纯标准混合气，以 “准确配比 + 高稳定性” 成为实验室分析、环境监测、工业检测等领域仪器校准的基准物质。该系列混合气基于超高纯单一气体（纯度≥99.999%）配制而成，可根据客户需求定制二元、三元及多元混合气，组分浓度范围从 1ppm 至 50%，配比精度达 ±1%，部分关键组分精度可达 ±0.1ppm。采用国际先进的静态重量法配制，每批次产品均通过气相色谱 - 质谱联用仪（GC-MS）、激光光谱等多种精密设备进行验证，确保浓度准确可靠，并提供国家计量认证（CMA）的检测报告，可溯源至国家基准物质。广泛应用于气相色谱仪、质谱仪、气体分析仪等精密仪器的日常校准与期间核查，有效保证检测数据的准确性与可靠性。某第三方检测机构使用该标准混合气后，环境中 VOCs（挥发性有机物）的检测误差从 ±5% 缩小至 ±1%；某化工企业用于在线气体分析仪校准，生产过程的工艺控制精度明显提升，产品合格率提高 3%。超高纯氟化氢经严格提纯，适配半导体先进制程清洗需求。二氧化硫超高纯气体厂家供应

超高纯氯化氢纯度≥99.999%，是光伏行业多晶硅提纯的关键试剂。上海四氟化硅超高纯气体芯片制造

上海弥正超高纯氢气（6N 级纯度），聚焦光伏产业 N 型 TOPCon 与 HJT 电池制造，凭借 “高纯度 + 高稳定性” 助力高效太阳能电池生产。通过膜分离与催化脱氧组合工艺提纯，将杂质总含量控制在 1ppb 以内，其中一氧化碳、二氧化碳等有害杂质含量≤0.05ppb，避免对电池转换效率造成负面影响。在多晶硅还原环节，超高纯氢气作为还原介质，能准确将三氯氢硅还原为高纯度硅料；在电池片退火工艺中，可有效提升硅片结晶质量，降低缺陷密度。采用高压无缝钢瓶包装，配备防泄漏阀门与压力稳定装置，确保输送过程中压力波动≤±0.02MPa。某光伏企业应用后，单晶硅片转换效率提升 0.5%，多晶硅还原能耗降低 8%，年节约生产成本超 300 万元，且气体各项指标符合中国光伏行业协会（CPIA）标准，适配光伏产业向高效化、规模化发展的趋势。上海四氟化硅超高纯气体芯片制造

上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！