上海弥正针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体制造,打造专属超高纯气体解决方案,以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体,其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级,金属杂质含量≤0.01ppb;用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级,确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性,对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体,该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量,有效减少外延层缺陷,提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合,并配备工艺适配团队,协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后,外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下,器件的击穿电压提升 20%,成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。超高纯气体经精密纯化,杂质含量控制在 ppb 级,保障制造质量。浙江乙烯超高纯气体生产厂家

上海弥正高压环境用超高纯气体,以 “耐压稳定 + 高纯度保持” 适配深海探测、高压化学反应等特殊场景,解决高压下气体纯度衰减与容器泄漏难题。该系列气体可定制适配 5MPa 至 30MPa 的不同高压工况,纯度达 5N-6N 级,采用高压无缝锻造气瓶包装,瓶体材质为超高强度合金钢,经 1.5 倍工作压力的水压试验与气密性测试,确保在高压环境下无泄漏风险。在深海探测领域,超高纯氩气作为深海探测器耐压壳的压力平衡气体,其稳定性可保障探测器在数千米深海的正常运行;在高压化学反应领域,超高纯氢气与氮气的混合气作为反应介质,能在高压下保持组分稳定,确保反应充分且产物纯净。配备高精度高压减压阀与流量控制器,可将输出压力准确控制在 ±0.01MPa 范围内,满足不同高压工艺的精确供气需求。某海洋工程研究院应用该气体后,深海探测器在 6000 米级海试中表现稳定,数据采集成功率达 98%;某化工企业用于高压加氢反应,反应转化率提升 10%,产物纯度达 99.8%。江苏1.3-丁二烯超高纯气体超高纯硒化氢(杂质≤1ppm)适配光伏电池制造,提升光电转换效率。

上海弥正超高纯氙气(6N 级纯度),凭借 “优越的 X 射线吸收能力 + 放射性杂质”,成为医疗成像与前沿科学探测领域的不可替代材料。通过多级精馏与精密提纯工艺,将总杂质含量控制在 0.1ppm 以下,其中对成像质量影响重大的总烃杂质≤10ppb,具有放射性的氡杂质更是被控制在 1ppb 以下,达到暗物质探测的严苛标准。在医疗领域,作为 CT 机的氙气探测器填充气体,其强大的 X 射线吸收能力能明显提升影像的清晰度与对比度,帮助医生精细识别微小病灶,减少误诊率;在高能物理领域,是大型暗物质探测器的重心工作介质,其超高纯度可比较大限度降低背景干扰,确保探测数据的准确性。采用特制的高压无缝气瓶包装,瓶体经严格的气密性与抗压测试,符合 GB 5099《钢质无缝气瓶》标准,保障储存与运输安全。某医疗设备企业应用后,其生产的 CT 机影像分辨率提升 40%,微小病灶检出率提高 25%;某科研院所在暗物质探测实验中使用该气体,成功捕捉到关键信号,实验进程大幅加速。
上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产,打破国际巨头在品类的垄断,为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类,公司通过自主研发攻克重心提纯技术,实现规模化量产,产品纯度达到国际先进水平,杂质控制精度进入 ppt 级别,并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品,公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势,可实现订单 48 小时内快速响应,交货周期缩短 50%,成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目,推动超高纯气体国家标准的修订与完善,目前已主导或参与 3 项行业标准的制定。某半导体企业使用其国产替代型超高纯三氟化氮后,不仅摆脱了对进口气体的依赖,还将相关工艺的材料成本降低 25%,供应链稳定性明显增强,为实现芯片国产化提供了有力保障。超高纯氨气纯度达 99.999%,用于 LED 芯片制造与光伏电池钝化。

上海弥正针对半导体制造全流程,打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案,覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别,其中用于光刻工艺的特种气体纯度高达 9N 级,金属杂质含量控制在 0.01ppb 以下,完全满足不同制程芯片的生产要求。提供从气体提纯、包装、运输到终端输送的全链条服务,配备痕量杂质检测实验室,每批次产品均通过 GC-MS(气相色谱 - 质谱联用仪)检测,确保各项指标达标;输送管道采用 316L 不锈钢材质,经电解抛光与钝化处理,内壁粗糙度≤0.2μm,避免颗粒产生与气体污染。某晶圆制造厂应用该解决方案后,整体工艺缺陷率降低 40%,设备维护周期延长 3 倍,年节约运维成本超 500 万元。根据 SEMI 数据,2023 年全球半导体用高纯气体市场规模达 58.7 亿美元,上海弥正凭借精细的工艺适配性与稳定的供应能力,成为国内多家晶圆厂的**供应商,助力半导体产业自主化发展。超高纯硫化氢纯度≥99.99%,用于金属硫化物薄膜制备与化学分析。浙江甲烷超高纯气体
超高纯磷烷纯度达 99.999%,是芯片制造中 N 型掺杂的重心气体。浙江乙烯超高纯气体生产厂家
上海弥正针对不同芯片制程需求,提供电子级超高纯气体定制服务,从纯度等级、杂质控制到供应方式均实现准确适配。可根据客户工艺要求,定制 5N-9N 级不同纯度的气体产品,其中 7N 级以上超高纯气体金属杂质含量可控制在 0.001ppb 以下,完全满足 7nm 及以下先进制程的严苛要求。针对特定工艺环节,准确控制目标杂质含量,如光刻工艺用气体可将碳氢化合物杂质控制在 0.05ppb 以下,避免影响光刻精度;掺杂工艺用气体可准确调控掺杂元素浓度,确保芯片电性能稳定。提供 “瓶装 + 管道” 双供应模式,小批量生产采用高压气瓶供应,大批量连续生产采用管道输送,输送系统可与客户生产设备无缝对接。配备专业技术团队,提供工艺适配咨询、气体使用培训与设备调试服务,帮助客户优化气体使用方案。某先进制程芯片企业应用定制化气体后,芯片制程良率提升 3.5%,工艺调整周期缩短 40%,成为客户工艺升级的重心合作伙伴。浙江乙烯超高纯气体生产厂家
上海弥正气体有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来上海弥正气体供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!