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二氧化碳超高纯气体新能源

来源: 发布时间:2025年12月11日

上海弥正氢能燃料电池全产业链超高纯气体解决方案,覆盖燃料电池电堆、系统及整车制造全流程,以 “高纯度 + 低有害杂质” 保障燃料电池的性能与寿命。方案重心气体包括燃料电池车动力源 —— 超高纯氢气(纯度 99.999%),以及用于电堆生产的超高纯氮气、氩气。其中,超高纯氢气中一氧化碳、硫化物等有害杂质含量≤0.1ppb,可有效避免燃料电池催化剂中毒,延长电堆寿命;在电堆的膜电极制备与双极板焊接环节,超高纯惰性气体作为保护气,确保产品质量稳定。提供从车载储氢瓶用气体到生产工艺用气体的一站式供应,并配备氢气纯度在线监测与纯化设备,为加氢站提供纯度保障。某头部燃料电池企业应用该方案后,其电堆的峰值功率密度提升 15%,循环寿命突破 10000 小时;某加氢站采用其氢气纯化设备后,输出氢气纯度稳定在 99.999% 以上,完全符合国家 GB/T 37244-2018 标准。超高纯三氟化氮(杂质≤1ppm)用作半导体清洗,高效去除光刻胶残留。二氧化碳超高纯气体新能源

二氧化碳超高纯气体新能源,超高纯气体

上海弥正针对碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体制造,打造专属超高纯气体解决方案,以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体,其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级,金属杂质含量≤0.01ppb;用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级,确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性,对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体,该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量,有效减少外延层缺陷,提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合,并配备工艺适配团队,协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后,外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下,器件的击穿电压提升 20%,成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。氪气超高纯气体超高纯氘气(纯度 99.999%)用作核磁共振成像的造影气体。

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上海弥正超高纯氧气(5N 级纯度),兼具医疗与电子制造双重适配性,以 “高纯度 + 低杂质” 满足多元场景需求。采用深度冷冻与吸附提纯工艺,将水分、二氧化碳、一氧化碳等杂质含量控制在 0.5ppb 以下,无异味、无有害污染物,符合医用气体 GB 8982-2024 标准与电子行业 SEMI 标准。在医疗领域,可用于重症患者呼吸疗愈、麻醉辅助与高压氧舱疗愈,提高血氧饱和度,促进患者康复;在电子制造领域,用于 ITO 薄膜溅射沉积,提升显示面板与触摸屏的导电性能与透光率。采用医用与工业特用气瓶分类包装,医用气瓶经无菌处理,工业气瓶配备高精度流量控制装置,支持连续稳定输送。某综合医院应用后,重症患者率提升 10%,氧疗不良反应发生率下降 60%;某电子企业使用后,ITO 薄膜透光率提升 2%,导电性能稳定,完全满足医疗与电子行业的严苛要求。

上海弥正多款超高纯气体产品通过 SEMI(国际半导体产业协会)认证,包括 SEMI S6 安全标准与 SEMI C12 气体纯度标准,成功打入全球半导体供应链,成为国际客户的供应商。公司建立了与国际接轨的质量管理体系,从原料采购、生产制造到检测放行,每一个环节都严格遵循 SEMI 标准要求,配备 GD-MS(辉光放电质谱仪)、CRDS(腔衰荡光谱法)等国际先进检测设备,确保产品质量与国际标准一致。通过认证的产品涵盖电子级氮气、氩气、氨气、三氟化氮等 15 个品类,纯度覆盖 5N-7N 级,可适配全球不同地区晶圆厂的生产需求。凭借 SEMI 认证资质,公司已成功与多家国际半导体设备商及代工厂建立合作关系,产品出口至东南亚、欧洲等多个地区。某欧洲半导体代工厂采购其 SEMI 认证氨气后,产品完全适配其 8 英寸晶圆生产线,检测指标与原进口品牌一致,且供应稳定性与成本优势更突出,实现了长期合作。超高纯氟化氢经严格提纯,适配半导体先进制程清洗需求。

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上海弥正超高纯六氟化钨(6N 级纯度),是半导体先进制程中钨金属层沉积的重心前驱体,以 “高纯度 + 低金属杂质” 助力芯片性能升级。采用化学合成与多级精馏提纯工艺,将杂质总量控制在 1ppm 以下,其中铜、铁、铝等金属杂质含量均≤0.1ppb,完全满足 14nm 及以下逻辑芯片、3D NAND 闪存制造的工艺要求。在化学气相沉积(CVD)工艺中,它能精细地在晶圆表面沉积出均匀、致密的钨金属层,用于芯片的栅极、互连线及接触孔填充,其纯度直接决定了钨层的导电性与可靠性,进而影响芯片的运行速度与寿命。配备耐腐蚀的特用包装与输送系统,采用内壁经特殊钝化处理的镍合金气瓶,防止气体与容器发生反应导致污染,输送管路采用无死腔设计,确保气体纯净度。某头部晶圆制造企业应用后,3D NAND 闪存的钨层沉积均匀性提升至 99.5%,芯片数据存储密度提高 15%,良率提升 2.2%,有力支撑了企业在先进存储领域的技术竞争力。超高纯氮气(纯度≥99.999%)用作半导体制造保护气,防止芯片加工时氧化。上海硅烷超高纯气体生产厂家

超高纯氖气纯度≥99.999%,用于霓虹灯填充与低温制冷领域。二氧化碳超高纯气体新能源

上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下,部分产品(如超高纯氮气、氩气)可低至 - 90℃,同时保证气体纯度达 6N 级以上,完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”,可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题,直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统,气瓶内壁经特殊处理,防止水分吸附,输送管路配备在线监测仪,实时监控气体干燥度,确保终端使用点的始终符合要求。某显示面板企业应用低超高纯氨气后,OLED 面板的薄膜层间附着力提升 30%,因水汽导致的黑斑缺陷率从 1.5% 降至 0.05%;某精密电子元件厂使用后,产品的耐湿热性能测试通过率从 85% 提升至 99.5%。二氧化碳超高纯气体新能源

上海弥正气体有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在上海市等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同上海弥正气体供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!