浙江硼烷超高纯气体半导体制造

上海弥正创新性地从发酵工业副产品中提纯制备生物基超高纯二氧化碳（5N 级纯度），实现资源循环利用，为食品与医药行业提供更安全、更环保的绿色气体选择。该工艺以乙醇发酵、啤酒酿造等工业的副产品二氧化碳为原料，通过水洗、脱硫、精馏、吸附等多道提纯工序，将硫化物、苯类、重金属等有害杂质含量控制在 0.1ppb 以下，纯度达 99.999%，完全符合 GB 10621-2022 食品添加剂标准与药典标准。相较于传统化工合成法，该工艺每生产一吨气体可减少约 3 吨的二氧化碳排放，兼具环保与经济价值。在食品领域，可用于碳酸饮料的充气与果蔬的气调保鲜，无化学残留，口感更纯净；在医药领域，可用于腹腔镜手术的 insufflation 气体与细胞培养环境的 pH 值调节。某啤酒企业将其用于旗下碳酸饮料生产，产品通过 “碳中和” 认证，市场销量提升 18%；某生物制药企业使用后，细胞培养的存活率与活性均有明显提升，生物制剂的批次稳定性更佳。超高纯磷化氢（纯度 99.999%）是 LED 芯片制造的 P 型掺杂气体。浙江硼烷超高纯气体半导体制造

上海弥正多款超高纯气体产品通过 SEMI（国际半导体产业协会）认证，包括 SEMI S6 安全标准与 SEMI C12 气体纯度标准，成功打入全球半导体供应链，成为国际客户的供应商。公司建立了与国际接轨的质量管理体系，从原料采购、生产制造到检测放行，每一个环节都严格遵循 SEMI 标准要求，配备 GD-MS（辉光放电质谱仪）、CRDS（腔衰荡光谱法）等国际先进检测设备，确保产品质量与国际标准一致。通过认证的产品涵盖电子级氮气、氩气、氨气、三氟化氮等 15 个品类，纯度覆盖 5N-7N 级，可适配全球不同地区晶圆厂的生产需求。凭借 SEMI 认证资质，公司已成功与多家国际半导体设备商及代工厂建立合作关系，产品出口至东南亚、欧洲等多个地区。某欧洲半导体代工厂采购其 SEMI 认证氨气后，产品完全适配其 8 英寸晶圆生产线，检测指标与原进口品牌一致，且供应稳定性与成本优势更突出，实现了长期合作。浙江硼烷超高纯气体半导体制造超高纯锑烷纯度≥99.99%，用于半导体掺杂与红外材料制备。

上海弥正推出超高纯气体租赁服务，为中小批量生产企业与科研机构提供灵活的气体供应方案，有效降低前期投入成本。租赁服务涵盖气瓶、减压阀、流量控制器等全套设备，客户无需购买昂贵的储存与输送设备，需根据实际使用量支付气体费用，设备维护与保养由上海弥正全程负责。可提供短期租赁（1-3 个月）与长期租赁（1 年以上）两种模式，租赁期间支持气体品种与纯度的灵活调整，满足客户不同阶段的使用需求。配备专业团队定期检查租赁设备运行状态，确保气体供应稳定与使用安全，同时提供的设备操作培训服务。某中小型电子企业应用租赁服务后，前期设备投入成本降低 80%，气体使用成本节约 30%，同时避免了设备闲置浪费，根据生产需求灵活调整供气规模，成为中小企业降低运营成本的方案。

上海弥正高压环境用超高纯气体，以 “耐压稳定 + 高纯度保持” 适配深海探测、高压化学反应等特殊场景，解决高压下气体纯度衰减与容器泄漏难题。该系列气体可定制适配 5MPa 至 30MPa 的不同高压工况，纯度达 5N-6N 级，采用高压无缝锻造气瓶包装，瓶体材质为超高强度合金钢，经 1.5 倍工作压力的水压试验与气密性测试，确保在高压环境下无泄漏风险。在深海探测领域，超高纯氩气作为深海探测器耐压壳的压力平衡气体，其稳定性可保障探测器在数千米深海的正常运行；在高压化学反应领域，超高纯氢气与氮气的混合气作为反应介质，能在高压下保持组分稳定，确保反应充分且产物纯净。配备高精度高压减压阀与流量控制器，可将输出压力准确控制在 ±0.01MPa 范围内，满足不同高压工艺的精确供气需求。某海洋工程研究院应用该气体后，深海探测器在 6000 米级海试中表现稳定，数据采集成功率达 98%；某化工企业用于高压加氢反应，反应转化率提升 10%，产物纯度达 99.8%。超高纯甲烷（杂质≤0.5ppm）是半导体刻蚀工艺的关键气体。

上海弥正针对碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等第三代半导体制造，打造专属超高纯气体解决方案，以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体，其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级，金属杂质含量≤0.01ppb；用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级，确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性，对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体，该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量，有效减少外延层缺陷，提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合，并配备工艺适配团队，协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后，外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下，器件的击穿电压提升 20%，成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。超高纯锗烷纯度达 99.99%，用于红外光学薄膜与半导体制造。江苏硼烷超高纯气体新能源

超高纯二氧化碳用于超临界萃取，提取食品与医药中的有效成分。浙江硼烷超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯六氟化钨（6N 级纯度），是半导体先进制程中钨金属层沉积的重心前驱体，以 “高纯度 + 低金属杂质” 助力芯片性能升级。采用化学合成与多级精馏提纯工艺，将杂质总量控制在 1ppm 以下，其中铜、铁、铝等金属杂质含量均≤0.1ppb，完全满足 14nm 及以下逻辑芯片、3D NAND 闪存制造的工艺要求。在化学气相沉积（CVD）工艺中，它能精细地在晶圆表面沉积出均匀、致密的钨金属层，用于芯片的栅极、互连线及接触孔填充，其纯度直接决定了钨层的导电性与可靠性，进而影响芯片的运行速度与寿命。配备耐腐蚀的特用包装与输送系统，采用内壁经特殊钝化处理的镍合金气瓶，防止气体与容器发生反应导致污染，输送管路采用无死腔设计，确保气体纯净度。某头部晶圆制造企业应用后，3D NAND 闪存的钨层沉积均匀性提升至 99.5%，芯片数据存储密度提高 15%，良率提升 2.2%，有力支撑了企业在先进存储领域的技术竞争力。浙江硼烷超高纯气体半导体制造

上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！