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    配气准度要求以配气允差和分析允差来表征;比较通用的有SE2MI配气允差标准,但各公司均有企业标准。组分的**低浓度为10-6级,组分数可多达20余种。配制方法可采用重量法,然后用色谱分析校核,也可按标准传递程序进行传递。3、电子气体(Electronicgases)：半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯4_6m+p-_4气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。4.外延气体(Cpita***algases)：在仔细选择的衬底上采用化学气相淀积(CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉。四川乙炔标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。乙炔标准气体现货

    工业气体分类工业气体在国家标准《常用危险化学品的分类及标志》(GB13690-1992)中，通常被划为第2类压缩气体和液化气体。这类化学品系指压缩、液化或加压溶解的气体。气体经加压或降低温度，可以使气体分子间的距离**缩小而被压入钢瓶中，这种气体称为压缩气体(亦称为长久气体，如氧气、氮气、氩气、氢气等)。对压缩气体继续加压，适当降温，压缩气体就会变成液体的，称为液化气体(如液氯、液氨、液体二氧化碳等)。此外，还有一种性质极为不稳定的气体，加压后需溶于溶剂中储存在钢瓶内，这种气体称为溶解气体(如溶解乙炔等)。工业气体按其化学性质不同，可分为4类：⑴剧毒气体，具有极强毒性，侵入人体能引起中毒甚至死亡。如氯气、氨气等。⑵易燃气体，具有易燃烧性和化学危险性，并有一定的毒性。如氢气、乙炔等。⑶助燃气体，具有助燃能力，但自身不燃烧，存在扩大火灾的危险性，如氧气等。⑷不燃气体，对人具有窒息性，性质稳定，不燃烧，如氮气、二氧化碳和氩气。国家标准GB13690-1992中，将上述4种气体分为3小类，即第、第。包括助燃气体)、第**气体工业气体按组份可分为单一品种气体的工业纯气和二元或多元气体的工业混合气。国家标准《瓶装压缩气体分类》。四川一氧化碳标准气体供应厂家四川标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。

    分子量当标准气体的组分气和稀释气分子量相差太大时,如H2、He和CO2、Ar组成的标准气体,静置时间长了容易分层,这势必影响其稳定性,并且其含量越高,影响越大。因此,在使用这类标准气体时,必须先把钢瓶进行旋转或放倒在地上滚动,使瓶内气体混合均匀。否则,其量值不准,影响标准气体的稳定性。使用条件环境条件与标准气体的稳定性也有很大关系,温度、湿度要适宜,象一些液化类气体,必须在室温以上使用;在使用标准气体时,对系统的要求很高,丝毫不能泄漏。因此,用户要严格按照《标准物质证书》上的要求使用,才能保证标准气体的量值准确,稳定性可靠。使用周期标准气体的使用有效期是根据稳定性实验结果来加以确定的,一般把能够保证标准值的有效期定为半年至一年。由于当标准气体的压力减小时,被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸,其浓度值发生变化,因此一般规定,高压钢瓶标准气体的残压低于MPa时,应停止使用。结果讨论标准气体稳定性实验结果表明,只要在配制过程中,注意容器的选择及预处理,用户按标准物质规定的要求使用,标准气体在有效期内是稳定的。用户可放心使用。

    容器选择盛装标准气体的容器应由耐腐蚀、抗压、吸附少、不生锈、化学特性稳定、机械强度高的材料制成,通常使用的高压容器是铝合金瓶,而碳钢瓶因其内壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。预处理盛装标准气体的钢瓶使用前应进行表面清洁、涂漆处理,然后,将钢瓶加温至100℃左右,同时抽真空处理约4h。钢瓶处理完毕后,必须分析其H2O、O2等杂质含量,合格后方可使用。气体要求配制10%的CH4/Ar四瓶,进行为期一年的稳定性考察,见表1,实验结果表明,由于铝合金钢瓶内壁比较光滑,因此在盛装一般长久气体时性质稳定,变化不大,钢瓶不用特殊处理,即可满足此类标准气体稳定性的要求。在配制COS、H2S、SO2等气体时,必须对钢瓶进行KG或CM处理,即为了防止容器内壁因吸附或解吸等带来的影响。先对容器内壁进行镜面研磨,涂上防氧化漆,然后把高浓度气体充入容器内并放置10d左右,从而提高标准气体的稳定性。用未经KG或CM处理的钢瓶配制mg/m3,COS/N2一瓶,实验结果见图1。用经KG处理的钢瓶配制mg/m3COS/N2一瓶,实验结果见图2。以上实验结果表明。配制易吸附标准气体时,钢瓶必须经KG或CM处理,才能保证其稳定性可靠,否则,组分气的含量变化很大,不宜作为标准气体来使用。四川二氧化氮标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。

    在标准气体研究阶段，要考察所研究的标准气体的均匀性，一般采用气相色谱法在相同的操作条件下，进行测定，以考察标准气体的均匀性，通常用平均值的一致性检验方法来判断。由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后，多长时间量值达到稳定，由有限次测定得到的平均值，在方法的不确定范围内应该是不***的。如果差异是***的，这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。标准气体稳定性编辑前言标准物质是指:“具有足够均匀并已经很好地确定某一种或多种特性的物质或材料,用于校准仪器、评价测量方法或确定物质的量值。”标准气体是气体标准物质,由于标准气体具有一定的有效期,因此,标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。众所周知,装入高压容器(钢瓶)中的标准气体的一个重要条件是在保存和使用过程中其量值不应发生变化。实际上,标准气体中成分气体或不纯物与容器内壁接触时往往引起吸附、解吸、化学反应等现象,而使其量值随时间发生变化,在含量越低,组成成分越复杂时,这种变化就越大。标准气体稳定性研究如下：稳定性影响因素[2]标准气体稳定性在很大程度上与容器的材料特性、容器内壁的预处理、气体本身的化学特性和使用条件有着密切关系。四川乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。重庆甲烷标准气体供应

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    标准气体静态配气静态配气[4]是把一定量的液体或原料气加到已知容积的稀释气体的容器中,混合均匀。根据所加入的液体或原料气的量和容器的容积,即可计算出所配制标准气体的浓度。常用的静态配气技术有以下几种。1.大瓶子配气法将大容积的玻璃瓶或聚乙烯塑料瓶洗净、烘干,充入干净空气代替瓶中原有气体后,抽成负压,再充入一定量的液体或原料气。若原料在常温下是气体,用气体定量管加入(见图1),充入干净空气至常压。若原料是挥发性液体,可在一个小安培瓶中称取一定量的液体,放入大瓶中,抽气使成负压,再摇碎安瓶,待液体挥发后,再充入干净空气到常压。大瓶子配气法所制得的标准气体的浓度,可根据加入原料气的浓度或液体的量及大瓶子的容积求得:当加入瓶中的是原料气时,按下式计算:740)">式中:V1:原料气的体积(mL);L:原料气的浓度(ppm);V0:大瓶子的容积(L);Z:所配气体的浓度(ppm);当加入瓶中的是挥发性的液体时:740)">式中:t:气体的温度(℃);m:加入液体的量(g);M:液体的摩尔质量(gömol);Z和V0同上式。740)">用大瓶子配气时,由于器壁的吸附作用,配成的标准气体的实际浓度往往比计算值低。为避免这种影响,可以将***次配好的气体放置一段时间后抽掉,再进行第二次配气。乙炔标准气体现货