上海大口径特气管道安装注意事项

尾气处理装置及纯化器的安装10.5.1尾气处理装置安装应符合现行国家标准《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231的有关规定。10.5.2尾气处理装置的基础应坚固平整，水平度不得大于3‰。10.5.3每个系统的管线及阀门都应贴上明显的正确标识，阀门应开关灵活，锁定装置应可靠。干式尾气处理装置及纯化器安装时，应防止吸附剂长期接触空气。低蒸汽压特种气体管道施工除应符合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的规定外，还应符合下列规定：1 管路应安装伴热带并用保温棉包覆管路；2 当管道穿越温差较大区域时应分段加热。了解特种管道的施工作业要求和规范。上海大口径特气管道安装注意事项

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。上海大口径特气管道安装注意事项自动焊接施工 半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。

特种气体管道安装施工方案，特种气体管道安装施工方案需要考虑以下几个方面：1. 材料选择：特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。2. 设计方案：根据现场情况和气体特性，设计合理的管道布局和安装方案，确保管道的安全和稳定运行。3. 施工准备：准备好必要的工具和设备，如切割机、焊接机等，确保施工现场的安全和清洁。4. 管道安装：按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纤（气体种类包括SiCl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。按照设计方案进行管道的切割、焊接、连接等操作，确保管道的密封性和牢固性。上海大口径特气管道安装注意事项

管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。上海大口径特气管道安装注意事项

特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。上海大口径特气管道安装注意事项