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半自动晶圆缺陷机支持晶圆边缘及缺口位置检测吗？

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无锡奥考斯半导体设备有限公司2026-05-12

支持晶圆整片全域扫描，包含表面、边缘、Notch 缺口、定位边无死角缺陷检查。

本回答由 无锡奥考斯半导体设备有限公司 提供

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