分子泵在半导体刻蚀中怎么用？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-09-06

半导体等离子体刻蚀工艺需要抽除含氟、氯等腐蚀性气体的尾气。滨海真空为刻蚀设备配套的分子泵机组，采用耐腐蚀涂层处理的分子泵作为主泵，前级为耐腐蚀干式螺杆泵，整机耐腐蚀且全无油。分子泵机组抽速大，可快速将刻蚀腔抽至高真空，满足工艺节拍。我们在泵入口配置加热过滤和颗粒捕集，防止副产物沉积。某芯片厂使用滨海真空的分子泵机组后，刻蚀速率均匀，泵组维护周期延长。滨海真空在半导体领域积累了丰富的分子泵应用经验。

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