干式螺杆泵在硅片切割液回收中怎么用？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-07-29

光伏硅片切割液含聚乙二醇和碳化硅微粉，真空蒸馏回收时泵需耐磨。滨海真空配置干式螺杆泵加罗茨泵，转子采用碳化钨涂层，耐碳化硅微粒冲刷，泵腔无油不污染回收液。某切割液回收厂使用后聚乙二醇回收率超90%。泵前设碳化硅粉尘过滤。

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