RU2系列光栅系统与传统光栅的性能对比有哪些？

苏州贝格纳工业设备有限公司2025-05-13

相比传统莫尔条纹光栅，RU2在三个方面实现突破：1）测量速度提升5倍至10m/s；2）抗污染能力增强，可在ISO 4406 20/17/14油雾环境工作；3）温度稳定性达±1ppm/℃，无需额外补偿模块。实测数据显示，在同等工况下，RU2的MTBF延长至6万小时，故障率降低80%。安装空间需求减少40%，重量减轻至85g。支持热插拔更换，平均维修时间缩短至10分钟。总体持有成本下降35%，特别适合需要24小时连续生产的半导体晶圆厂。

本回答由 苏州贝格纳工业设备有限公司 提供