分子泵在光学镀膜中如何应用？

深圳市滨海真空技术有限公司2026-09-05

滨海真空为光学镀膜工艺提供的分子泵无油真空机组，以涡轮分子泵为主泵，前级采用涡旋干泵或干式螺杆泵，整机完全无油，极限真空可达10⁻⁶ Pa。该分子泵机组避免了碳氢化合物污染光学元件表面，能实现超宽带增透膜、高反射膜等精密镀膜。某光学镜头制造商采用滨海真空配置的分子泵镀膜系统后，膜层反射率达99.99%以上，散射和吸收损耗低于10 ppm。我们集成全量程真空计和自动控制系统，可设定抽空和破空程序。每套分子泵机组出厂前均经过氦检漏和48小时考机，确保性能。滨海真空在光学镀膜领域已有数十套分子泵机组交付，客户反馈膜层疵病率基本消失。

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