手套箱蒸镀一体机由哪些系统组成？

米开罗那（上海）工业智能科技股份有限公司2025-06-10

手套箱蒸镀一体机由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成。真空镀膜系统负责在高真空环境下完成薄膜蒸镀，通过蒸发源将材料加热蒸发，沉积在基底表面形成薄膜。手套箱系统则通过高效的净化系统和循环系统，维持箱体内的高纯惰性气体氛围，确保样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测过程在无尘无污染的环境中进行。手套箱系统还集成了先进的自动化控制系统，实现精确的环境控制和操作流程。这种系统组合实现了蒸镀、封装、测试等工艺的全封闭制作，消除了大气环境中不稳定因素的影响，保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

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