真空镀膜设备的冷却系统出现故障，该如何处理？​

丹阳市宝来利真空机电有限公司2025-09-17

首先应立即停止设备运行，避免因缺乏冷却导致部件过热损坏；然后检查冷却系统的水路（或气路）是否通畅，查看水管（或气管）是否堵塞、泄漏，阀门是否正常开启；若水路堵塞，可使用高压水枪或**清洁剂疏通；若存在泄漏，需更换损坏的管道或密封件；同时检查冷却水泵（或风机）是否正常工作，若电机故障，需及时维修或更换；故障排除后，先进行试运转，确认冷却系统正常后，再重新启动设备进行镀膜操作。

本回答由 丹阳市宝来利真空机电有限公司 提供