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晶圆外观检查主要检查哪些方面？

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无锡奥考斯半导体设备有限公司2026-05-23

主要检查晶圆表面是否有划痕、裂纹、污渍等，还要查看边缘是否规整。

本回答由 无锡奥考斯半导体设备有限公司 提供

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