干式真空泵是如何工作的？

艾斯达流体技术（南京）有限公司2026-03-12

干式真空泵是一种无油无水的真空泵，其工作原理基于机械压缩和排气过程。泵腔内通过转子旋转，将气体从进气口吸入，随着转子运动，气体被逐步压缩并推向排气口排出。整个过程不依赖油或水等介质，从而避免污染真空环境。干式真空泵通常采用多级设计，每级实现不同的压缩比，以实现从大气压到高真空的连续抽、排气。关键部件包括转子、定子和密封系统，这些部件采用耐磨材料（如碳化硅或合金钢）制造，确保耐用性。艾斯达流体技术的干式真空泵在此基础上，优化了流体动力学设计和间隙控制，提高抽气效率，极限真空度可达10-2 Pa以下。这种泵适用于对洁净度要求高的行业，如半导体制造、光伏生产和化工工艺，能有效防止介质、油、蒸气污染（因为此款真空泵只有静密封、没有动密封，所以有效阻止介质外泄）。此外，我们的泵配备智能监控、故障自修复系统，实时跟踪温度、振动和压力、电流变化自动调整工作状态，提升运行可靠性。维护方面，干式设计减少了液体处理需求，降低了长期运营成本。整体而言，干式真空泵通过机械方式实现洁净真空，是现代工业中关键设备之一。