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奕东亿尔高效电子半导体Class 5用H13还是H14吗?

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奕东亿尔(上海)环保设备有限公司2026-07-29

黄光区/晶圆Class 5(百级)末端FFU用H13可达标,但先进封装、刻蚀区常升H14降UPW颗粒;Class 3-4必须H14/U15。奕东亿尔电子厂方案:新风F7→机组H11 V型→FFU H13(或H14选配),不默认全厂H14。

奕东亿尔(上海)环保设备有限公司
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简介:主营多种过滤器,广泛应用于微电子、生物制药等领域,提供完善的售后服务,助力客户发展。
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