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如何通过纳米力学测试表征薄膜与基底的界面结合强度？

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广州致城科技有限公司2025-07-12

常用方法包括： 1. 划痕测试：通过逐渐增加载荷的划痕仪监测薄膜剥落临界载荷（Lc）。 2. 横向力测试：结合AFM或原位SEM观察界面失效行为。 3. 微悬臂梁法：测量薄膜从基底的剥离能。

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