千级洁净室是单向流还是乱流呢？

上海中湖洁净科技有限公司2026-09-14

千级洁净室既可以做成乱流为主，也可以采用单向流与乱流结合的布置，取决于关键工艺点位的暴露方式。整体上，千级多数按非单向流设计，依靠足够换气次数稀释粒子；若某些工位对定向气流有要求，可在该区域加装层流罩、洁净棚或FFU形成局部单向流，背景房间维持千级乱流。这种分级组合方式灵活且经济。判断用哪种气流型式的依据不是等级数字，而是产品暴露时间、发尘源位置与送回风路径是否会把污染物扫过暴露面。上海中湖洁净科技有限公司建议把气流组织作为工艺平面评审的一部分提前介入，若吊顶和回风位置先定死了再改工艺布置，往往两头受限。

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