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LWZ滑台的精度衰减控制如何？

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浙江希捷精密机械科技有限公司2025-05-11

在半导体晶圆检测设备中，LWZ40-L300型号通过双滑块设计，实现260mm行程内激光束的亚微米级定位，大幅降低晶圆表面划伤风险，且长期使用中精度衰减极小。

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