金属表面处理真空镀膜同一炉厚度不均怎么办？

广东华升纳米科技股份有限公司2025-11-02

金属表面处理遇到同一炉厚度不均，优先“靶-转-偏”三联调：先测原位膜厚云图，若边缘低于中心10%，把外圈靶弧流提高5A，并降低内圈2A，45min后分布即可拉回±5%；再校正公转速度，由4rpm降至3rpm，延长单圈驻留8s，边缘厚度可再升2%；同时把偏压由-80V阶梯降到-60V，减少溅射反刻。金属表面处理现场用石英晶体+AES双监控，闭环调整每10min一次，整炉300件同片差从0.15μm缩到0.05μm，结合力仍≥65N，实现金属表面处理高均匀与低成本双赢。

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