武汉市普瑞思高科技有限公司2026-05-16
粒子计数器的加工方法,主要是精密机械加工 + 光学镀膜 + 电子装配 + 洁净校准四大块,全程在洁净环境下完成,精度要求高。
一、主要结构件加工(机械部分)
1. 光学腔体 / 探测腔(比较关键)
材料:6061 铝合金 / 不锈钢,或黑色工程塑料(ABS/PC);质优用钛合金。
工艺:
CNC 精密铣削:公差 ±0.005mm,保证光路同轴、气路密封。
内壁消光处理:黑色阳极氧化 / 喷砂 / 发黑,抑制杂散光。
微孔加工:进气口、激光通道、光阱孔,激光打孔 / 慢走丝,孔径 0.1–0.5mm。
气密性测试:氦气检漏,泄漏率<10⁻⁹ Pa・m³/s。
2. 气路部件(采样系统)
进气嘴、稳压腔、分流器:CNC 车削 + 钻孔,内壁抛光(Ra<0.8μm)。
鞘气结构(质优):MEMS 微加工 / 3D 打印(光敏树脂),流道精度 ±0.01mm。
外壳:钣金折弯 + 数控冲床,或注塑成型(批量)。
二、光学元件加工与镀膜
1. 激光模组
激光二极管(LD):外购主要,精密夹具固定,焊锡 / 导电胶粘接。
准直透镜:光学玻璃(K9),研磨 + 抛光,表面镀增透膜(AR),减少反射。
聚焦透镜:非球面加工,CNC 研磨 / 模压成型。
2. 光电探测器
光电二极管 / 倍增管:金属封装 + 引脚焊接,避光固化。
光路组装:超净台(ISO7),无尘手套 + 防静电镊子,紫外胶固化,定位精度 ±0.01mm。
三、电子电路加工与组装
1. 信号处理板
PCB:高精度制版(4 层 +),阻抗控制,金手指镀金。
贴片:SMT 高速贴片机,0201/0402 元件,回流焊(氮气保护)。
清洗:超声波清洗 + 等离子除污,无残留。
2. 整机布线
气路:PTFE / 硅胶管,热压 / 卡箍密封,无死区。
电路:屏蔽线,抗干扰,三防漆涂覆(防潮 / 防尘 / 防盐雾)。
四、总装与校准(洁净环境)
1. 洁净装配(ISO5–6 级洁净室)
所有部件异丙醇擦拭 + 氮气吹扫。
光学腔体→激光模组→光电探测器→气路→电路→外壳,逐级组装。
关键:光路对准(激光光斑居中,散射光比较强)、流量校准(误差<±1%)。
2. 校准与测试
标准粒子、粒径校准、计数校准、环境测试
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