物理的气相沉积系统采购

新南威尔士大学AronMichael团队利用超高真空电子束蒸发硅系统，攻克了CMOS上集成MEMS时的低热预算难题。该系统可在≤500℃的低热预算下，制备出厚度达60μm、表面光滑且低应力的原位磷掺杂硅薄膜，沉积速率达1μm/min，且不会损害CMOS的完整性。团队还基于这种厚多晶硅膜设计制造了20μm厚的梳状驱动结构，成功实现了加速度计的功能。该案例为MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技术，助力汽车、可穿戴设备等领域智能传感器的低成本集成。设备维护需定期清洁沉积源与真空室，更换老化密封圈与过滤部件。物理的气相沉积系统采购

纳米颗粒和薄膜超高真空（UHV）沉积系统的工作原理，是在超高真空环境中，通过特定物理 / 化学机制产生超纯纳米颗粒或薄膜材料，再将其准确、均匀地沉积到目标基材表面，整个过程需实现 “真空环境控制、材料源激发、粒子传输与筛选、基材相互作用” 四大关键环节的协同，获得高纯度、低缺陷、结构可控的纳米级沉积层。

纳米颗粒和薄膜 UHV 沉积系统的应用场景，本质是通过 “超纯、准确、可控” 的纳米制备技术，解决不同领域中 “材料结构调控” 的主要需求 —— 无论是工业研发中提升产品性能（如催化剂活性、电池寿命），还是学术研究中探索材料新机理，其多技术集成、多基材适配的特性，使其成为连接基础研究与实际应用的关键桥梁，服务于高校、科研院所、高科技术企业的创新需求。 物理的气相沉积系统采购开机前需检查真空密封、气源纯度及电气连接，确保设备运行条件达标。

科睿设备有限公司推出的多功能超高真空（UHV）沉积系统，以“多沉积技术融合+精细过程控制”为亮点，专为研究和工业应用而设计，尤其适用于需要复杂材料结构的场景。该系统创新性地整合了3头纳米颗粒源（采用终止气体冷凝技术）、迷你电子束蒸发器、磁控溅射源、热舟源及K电池等多种沉积单元，能够实现纳米颗粒与薄膜的协同沉积，支持制备结构复杂、性能优异的复合功能材料。其中，3头纳米颗粒源可提供稳定、连续的纳米颗粒流，而QMS质量过滤器则能够对纳米颗粒进行实时扫描，并根据质量或直径参数精细筛选，确保沉积到基材表面的颗粒尺寸均一、性能稳定，从而优化生长条件，获得一致的高质量结果。针对薄膜沉积需求，电子束蒸发器、磁控溅射源等单元可实现不同材质、不同厚度薄膜的准确制备，配合K电池的受控沉积功能，进一步提升了薄膜的均匀性和致密性。

在光子器件制造中，系统能够在光学基板、光纤端面等关键部位精细沉积光学薄膜，实现增透、反射、滤波等功能，例如在激光器件中，通过沉积高均匀性的介质薄膜，可提升激光的输出效率和稳定性；在光传感器中，通过沉积纳米颗粒敏感层，可增强器件对特定波长光的响应灵敏度。此外，NL-FLEX 系统的多基材适配性的优势，能够满足柔性光子器件、非平面光学元件等新型光子器件的制备需求，为光子学领域的创新研究提供了更多可能。同时，系统的先进过程控制功能可确保沉积层的厚度均匀性和光学性能一致性，为光子器件的批量生产和性能优化提供了可靠保障。工业研发中，设备可实现小批量试产，为规模化生产提供工艺参数参考。

NL-FLEX多功能沉积系统：全场景基材适配，解锁多元应用可能

NL-FLEX作为科睿设备有限公司旗下明星产品，以“全场景基材兼容+多技术集成”的设计，成为纳米科技领域的多功能创新平台。与传统沉积设备只能适配平面基材不同，NL-FLEX打破了基材类型的限制，能够轻松容纳卷对卷柔性材料、非平面异形件以及粉末状基材，无论是工业生产中批量处理的柔性薄膜，还是科研实验中特殊形状的功能部件，都能实现均匀、高效的纳米颗粒或薄膜沉积。这一优势使得该系统在多个领域展现出强大的应用潜力：在柔性电子领域，可实现柔性基板上的纳米导电层沉积；在生物医药领域，能为非平面医用器件表面修饰生物相容性纳米涂层；在材料科学领域，可对粉末状催化剂进行精细改性。同时，NL-FLEX集成了纳米颗粒沉积、薄膜沉积等多种技术，配合QMS质量过滤器的实时纳米颗粒过滤功能，能够根据不同应用需求灵活切换工艺模式，实现从单一纳米颗粒沉积到复合薄膜制备的多元工艺组合。此外，系统支持自定义配置选项和先进的过程控制功能，用户可根据实验要求调整沉积速率、颗粒尺寸、薄膜厚度等关键参数，进一步提升了工艺的灵活性和准确度，成为工业研发与学术研究中应对复杂需求的理想选择。 该系统广泛应用于催化、储能和光子学等前沿研究领域。物理的气相沉积系统采购

涂层均匀性不佳时，可通过调整基板旋转速率或优化粒子束流聚焦解决。物理的气相沉积系统采购

在纳米颗粒制备方面，与液相激光烧蚀或化学合成法相比，我们的气相沉积法产生的纳米颗粒天生就是非团聚的、尺寸可筛选的，并且能够直接沉积到目标基底上，避免了转移、清洗等繁琐步骤以及在此过程中可能发生的污染、团聚或性能衰减。

考虑到设备可能产生的电磁辐射、噪声和微量金属粉尘，实验室的布局应合理规划，与其他对振动或电磁干扰敏感的设备保持适当距离。同时，应配备必要的安全设施，如应急洗眼器、灭火器，并张贴明确的安全操作规程。 物理的气相沉积系统采购

科睿設備有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的化工中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，科睿設備供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！