天津水喷射真空泵机组

真空泵在工作第1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。对于真空泵的维护保养一定要做好，不然真空泵的使用效果会减少。干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美目前已经成为微电子、半导体等行业选择真空获得设备。天津水喷射真空泵机组

为了使国产滑阀真空泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。天津水喷射真空泵机组水环真空泵泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。

欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

对真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽压力偏低及压力波动均对真空泵的能力有较大影响，因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力，但所用真空泵结构设计已定型，过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。另外，要确保锅炉供给的蒸汽压力稳定，建议用一台锅炉专门给蒸汽喷射泵提供工作蒸汽，这样蒸汽压力就不会出现波动，真空泵性能稳定。对循环冷却水要求的研究：冷却水供量不足，冷凝器会发热，气流声音变大，真空度迅速下降，甚至蒸汽会返入抽气管。微型真空泵的介质温度问题。根据通过泵的介质气体的温度，选择要普通型的还是要高温型的。

螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，它是油封式真空泵的更新换代产品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，在国内各大制药和化工企业得到普遍应用。优点是寿命长、能耗低、无油污染。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。水环真空泵中气体压缩是等温的，可抽除易燃、易爆的气体。天津水喷射真空泵机组

水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的。天津水喷射真空泵机组

真空泵中的折叠罗茨泵，从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵罗茨泵工作原理的价格远比国产泵要高得多。国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。天津水喷射真空泵机组