水环真空泵用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。水环式真空泵的缺点,效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。真空度低,这不只是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除易燃、易爆的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了普遍的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环真空泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。AC线性驱动活塞真空泵厂家供应
罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。AC线性驱动活塞真空泵厂家供应真空泵整体结构不匀称,泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整的系列,并研究开发出各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵。
水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。水环泵开始用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到普遍的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。水环真空泵用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。
有些国家和地区的电源频率为60Hz,更要确保罗茨真空泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。目前,国内气冷式直排大气罗茨真空泵进展很快,技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。AC线性驱动活塞真空泵厂家供应
高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。AC线性驱动活塞真空泵厂家供应
在实际应用中,微型真空泵面临的排气状况是不一样的:一类是排气很顺畅,直通大气;另一类是排气阻力较大,比如在排气管路上有阀、细小弯管、大阻尼传感器、非专门用的消音器、在液面以下排气、气体排往密闭或半密闭容器等。在现代设计制造中,把面对不同排气条件的微型真空泵区别对待。"排气口允许较大阻力Por值"这一参数就是标定泵的排气能力,让我们可以用严格的技术手段确定选型是否恰当。简单地说,对于排气阻力大的系统,我们的选型范围是:FM系列、FAA系列、PCF系列;对于排气阻力小的系统,选型范围是:VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列。AC线性驱动活塞真空泵厂家供应