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宜宾30万级无尘车间

来源: 发布时间:2025年10月14日

    天马微电子股份有限公司专注于显示面板研发与生产,显示面板生产对无尘车间的洁净度要求极高,哪怕微小的灰尘都可能导致面板报废,兴元环境针对这一需求,为天马微电子提供专业的中央空调及无尘车间系统工程服务,准确满足其高精度生产需求。在设计阶段,兴元环境深入研究显示面板生产工艺,了解到不同生产环节(如光刻、镀膜)对洁净度等级的差异要求,因此将无尘车间划分为不同洁净区域,从千级到十万级不等,实现“按需洁净”,既保障生产质量,又避免资源浪费。在施工过程中,兴元环境重点关注防静电与温湿度控制,因为显示面板生产过程中静电易损坏元件,温湿度波动会影响面板性能,公司通过配置专业防静电设备、高精度温湿度控制系统,确保无尘车间内静电指标、温湿度始终稳定在合理范围。项目交付后,天马微电子的显示面板生产良率得到有效提升,生产过程中的质量问题大幅减少,这一案例也成为兴元环境在高精度电子行业无尘车间建设的典型表现。高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)是净化车间的关键部件。宜宾30万级无尘车间

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    半导体行业是无尘车间的主要应用领域之一,因芯片制造过程中,晶圆对微粒、金属离子、水汽等污染物极为敏感,需在极高洁净度的环境中进行。例如,晶圆光刻环节需在 ISO 1 - ISO 2 级洁净车间内进行:该等级下,每立方米空气中 0.1 微米微粒不超过 100 个,且需控制空气中的金属离子浓度(如钠、钾离子浓度低于 1ppb),防止金属离子影响光刻胶的感光性能;晶圆蚀刻环节则需在 ISO 3 - ISO 4 级洁净车间内进行,同时需控制车间内的湿度(低于 30%),避免水汽与蚀刻气体(如氟化物)反应生成腐蚀性物质,损伤晶圆表面。此外,半导体无尘车间还需具备严格的静电控制能力:车间内的地面、墙面、设备表面需做防静电处理,人员穿戴防静电无尘服,设备接地电阻控制在 10^6 - 10^9 欧姆之间,防止静电吸附微粒或击穿晶圆电路。可以说,半导体芯片的集成度越高(如 7 纳米、5 纳米制程),对无尘车间的洁净度、温湿度、静电控制要求越严格,无尘车间的技术水平直接决定了半导体制造的精度和良率。宜宾30万级无尘车间凭借丰富案例与良好口碑,兴元环境成为众多企业建设无尘车间的信赖之选。

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    清洁与消毒是维持无尘车间洁净度的日常工作。清洁需使用无尘抹布和拖把,材质为超细纤维,避免擦拭时产生纤维脱落,清洁用水需经过纯化处理(电阻率≥18.2MΩ・cm),配合中性清洁剂使用,防止残留化学物质。清洁顺序需遵循 “由内到外、由上到下”,先清洁天花板和设备顶部,再擦拭墙面和工作台面,清洁地面,避免交叉污染。消毒则根据车间类型选择方式,电子车间可采用紫外线消毒(每次照射 30 分钟以上),生物医药车间需定期进行甲醛熏蒸或过氧化氢雾化消毒,确保杀灭空气中和表面的微生物,消毒后需通风换气,避免残留消毒药剂影响生产。

    防静电设计是电子类无尘车间的重要环节。车间地面需铺设导电地坪,并通过接地线与大地连接,接地电阻需控制在 10Ω 以下,使静电能快速泄放。工作台面采用防静电橡胶材质,操作人员需佩戴防静电手环,手环通过导线与接地系统相连,确保人体静电电压不超过 100V。设备外壳需进行接地处理,传输带等移动部件需安装防静电毛刷,避免因摩擦产生静电积聚。此外,车间内禁止使用易产生静电的塑料材质,工具和容器多采用导电或抗静电材料制作,同时通过离子风机消除空气中的静电,形成多方位的防静电防护体系。尽量减少车间内不必要的设备和人员活动,以降低污染风险。

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    材料与设备是无尘车间装修品质的基础,兴元环境在选材上严格把关,确保项目长期稳定运行。在装修材料方面,墙面选用防尘、防霉的彩钢板,地面采用防静电 PVC 或环氧树脂材料,吊顶采用轻质、防火的铝合金龙骨,所有材料均符合国家环保与洁净标准,且具备耐磨损、易清洁的特性,减少后期维护成本。在设备配置上,兴元环境与世界有名品牌合作,中央空调系统选用 TRANE 等品牌,空气净化系统采用高效 HEPA 过滤器与 FFU 风机过滤单元,确保洁净度达标;同时引入智能监控设备,实时监测车间温湿度、洁净度、压差等指标,便于及时调整。例如,在天马微电子股份有限公司的无尘车间项目中,通过只有彩钢板与高效过滤设备的搭配,不仅实现了千级洁净标准,还让车间运行能耗降低 15%,兼顾品质与节能。穿着符合洁净度等级要求的无尘服、口罩、手套和头套是强制性的。德阳千级无尘车间设计

生产或实验过程中产生的废弃物需及时密封并移出洁净区。宜宾30万级无尘车间

    无尘车间是高能耗设施,其能耗主要来自空气净化系统(占总能耗的 40% - 60%)、温湿度控制系统(20% - 30%)和照明系统(10% - 15%),单位面积能耗是普通建筑的 5 - 10 倍,因此节能措施尤为重要。首先,空气净化系统节能:采用高效节能风机(如变频离心风机),根据车间内的压力和洁净度需求调节风机转速,降低能耗(可节能 20% - 30%);优化过滤系统,采用 “初效 + 中效 + 亚高效 + 高效” 的四级过滤模式,延长高效过滤器的使用寿命(从 1 年延长至 2 年),减少更换频率和能耗;利用热回收装置,回收排风中的热量(夏季)或冷量(冬季),预热或预冷新风,降低空调机组的负荷(可节能 15% - 20%)。其次,温湿度控制系统节能:根据生产需求合理设定温湿度参数,避免过度控制(如将温度从 22℃提高到 24℃,可节能 5% 左右);采用分区温控,对不同温湿度需求的区域分别控制,避免能源浪费;使用高效换热器(如板式换热器),提高冷热交换效率。宜宾30万级无尘车间