北京台式隔振平台设计

随着科学技术的不断发展，以IC制造装备、高分辨率电子显微镜、表面粗糙度测试仪和精密光学设备等为表示的精密制造设备、精密测量设备得到了越来越普遍的应用，其对精度的要求越来越高。作为实现高精度的重要基础设备，隔振装置能隔离地基和环境振动对精密设备的影响，给振动敏感的设备提供"安静"的工作环境，保证精密设备的正常运行。基于六自由度隔振平台，通过将主动隔振技术、被动隔振技术、空间六自由度并联运动机构优化设计、柔性机构设计等多种方法相结合，能够刚性传递低频姿态控制信号，衰减高频干扰信号并且无谐振的六自由度隔振平台。采用六自由度平台主动隔振装置能实现六自由度控制的全解耦，应用灵活。该隔振装置能在六自由度 上实现对低频扰动的有效抑制和高频振动的隔离。适当配置的隔振系统能有效剔除环境影响，提高设备工作效率。北京台式隔振平台设计

考虑预算和维护：阻尼式隔振平台成本相对较低，而气浮式隔振平台可能成本更高，且需要定期维护。评估预算和维护能力，确保所选平台与您的财务资源相匹配。评估实验环境：考虑实验环境中振动源的类型和频率，选择能够有效隔离这些振动的隔振平台。对于气流敏感的实验环境，可能需要避免选择气浮式隔振平台。考虑空间限制：评估实验室空间，确保所选隔振平台可以适当安装并操作。考虑平台的尺寸、形状和重量，以确保其适合您的实验室环境。北京台式隔振平台设计现代隔振平台正逐步向智能化、自动化方向发展，提升操作的精确度。

光学平台所涉及的相关参数：1.振动恢复时间，振动恢复时间通常是指，从开始振动的某一点到恢复到初始状态下所需要的时间，也叫衰减周期。想要缩短振动恢复时间，一般有两种方法，头一种方法是增大弹簧的弹性系数k，针对阻尼隔振平台，可以换材质硬一点的阻尼材料，针对气浮平台，可以增加空气的压力。第二种方法是控制平台的台面质量。不影响刚度的情况下，平台台面越轻，振动恢复的时间越短，效果能够越好。2.平面度，光学平台平面度是指单位面积里，被测的实际平面相比理想平面变动的量。国外光学平台平面度指标通常是：±0.1mm/600mm×600mm。3.挠度，通俗来讲，挠度是指构件的竖向变形。也就是说结构构件轴线或者中面由于弯曲而引起的垂直于轴线或者中面方向的线的位移就叫挠度。挠度系数与刚性系数、杨氏弹性模具、抗拉强度等类似。是标称材料特性的一个常数。

隔振平台原理：1.弹簧一个简单的无源隔离器。弹簧反作用于被减振物体，通过变形来吸收一定的能量。一个简单的例子就是汽车减振器，在这种情况下，冲击或振动产生机械能，被转换为热能，热能被浸泡弹簧的油吸收，从而减少传递到车身上振动。其固有频率可以做到很低，但是阻尼很小。优点是扰动源频率和系统固有频率差很远时，隔振效果非常好。缺点就是一旦共振放大很严重。2.橡胶橡胶也是通过变形来吸收振动。与弹簧的区别是，橡胶能在各个方向吸收。隔振平台的工作高度可调，以适应不同设备的组装和使用要求。

桌式主动减振台是一个具有多项国家专业技术的高精密隔振平台。此平台由蜂窝内芯光学台面、隔振器以及台架所组成。隔振器采用精密金属弹簧实现被动隔振，由洛仑兹电机实现主动减振。平台提供六自由度、高精度、带地基反馈的隔振。相比传统的主动减振方案，本系统采用三个速度传感器来实现地基前馈控制，能在50Hz频率范围内使隔振效果达到较佳水平。系统运行时不需提供压缩空气，安装方便、即插即用。能自适应调节地基前馈，实现6自由度减振。具有较佳的性/价比。为了提高隔振效果，平台下方可配装空气弹簧或橡胶垫，以增加吸振能力。北京台式隔振平台设计

高精度生产环境中，隔振平台能有效降低生产过程中的机械振动。北京台式隔振平台设计

问：标准 1/2 Hz 台式平台或工作站的有效载荷的质心 (CM) 高度是否有限制？A. 一个好的做法是将有效载荷的 CM 高度保持在顶板较小横向尺寸的一半左右，例如，BM-1 为 12"，BM-4 为 8"，BM 为 9" -6. 但是，我们已经能够在倾斜时加强隔振平台并超过这些高度两到三倍。问：当我尝试调整垂直位置时，大头针停留在线的上方或下方。 我该怎么办？A. 负刚度太大。 逆时针转动垂直刚度调节螺钉几度，然后重新调节垂直位置。 重复直到可以将销定位在线上。问：实验室环境中遇见的常见频率是多少？A. 以下是实验室环境中的典型振动频率：建筑外面街道上的车辆5-30 Hz；火车和地铁<10 Hz（得看距离）；风向建筑物 1-13 Hz；高层建筑的摇摆（上层，水平振动） 1-5 Hz；建筑物内的结构共振 1-40 Hz；声学激励（空气或结构）20+ Hz；暖通空调系统 7-350 Hz；来自海浪等的地震波 ~1 Hz；建筑物内行走的人 1-5 Hz；电梯 <40 Hz；变压器 40+ Hz；机器和电机 4+ Hz；高架地板（例如在洁净室中） 12-50 Hz 共振。北京台式隔振平台设计