浙江3D光波导

多芯MT-FA光连接器在三维光子互连体系中的技术突破，集中体现在高密度集成与低损耗传输的平衡上。针对芯片内部毫米级空间限制，该器件采用空芯光纤与少模光纤的混合设计，通过模分复用技术将单纤传输容量提升至400Gbps。其重要创新在于三维波导结构的制造工艺：利用深紫外光刻在硅基底上刻蚀出垂直通孔，通过化学机械抛光（CMP）实现波导侧壁粗糙度低于1nm，再采用原子层沉积（ALD）技术包覆氧化铝薄膜以降低传输损耗。在光耦合方面，多芯MT-FA集成微透镜阵列与保偏光子晶体光纤，通过自适应对准算法将耦合损耗控制在0.2dB以下。实际应用中，该器件支持CPO/LPO架构的800G光模块，在40℃高温环境下连续运行1000小时后，误码率仍维持在10⁻¹²量级。这种性能突破使得数据中心交换机端口密度从12.8T提升至51.2T，同时将光模块功耗占比从28%降至14%，为构建绿色AI基础设施提供了技术路径。三维光子互连芯片的技术进步，有望解决自动驾驶等领域中数据实时传输的难题。浙江3D光波导

三维光子芯片的能效突破与算力扩展需求，进一步凸显了多芯MT-FA的战略价值。随着AI训练集群规模突破百万级GPU互联，芯片间数据传输功耗已占系统总功耗的30%以上，传统电互连方案面临带宽瓶颈与热管理难题。多芯MT-FA通过光子-电子混合集成技术，将光信号传输能效提升至120fJ/bit以下，较铜缆互连降低85%。其高精度对准工艺（对准精度±1μm）确保多芯通道间损耗差异小于0.1dB，支持80通道并行传输时仍能维持误码率低于10⁻¹²。在三维架构中，MT-FA可与微环调制器、锗硅探测器等光子器件共封装，形成光互连立交桥：发射端通过MT-FA将电信号转换为多路光信号，经垂直波导传输至接收端后，再由另一组MT-FA完成光-电转换，实现芯片间800Gb/s级无阻塞通信。这种架构使芯片间通信带宽密度达到5.3Tbps/mm²，较二维方案提升10倍，同时通过减少长距离铜缆连接，将系统级功耗降低40%。随着三维光子芯片向1.6T及以上速率演进，多芯MT-FA的定制化能力（如保偏光纤阵列、角度可调端面）将成为突破物理层互连瓶颈的关键技术路径。西宁高密度多芯MT-FA光组件三维集成方案Lightmatter公司发布的M1000芯片，通过3D光子互连层提供114Tbps总带宽。

三维光子互连芯片的多芯MT-FA光组件集成方案是光通信领域向高密度、低功耗方向发展的关键技术突破。该方案通过将多芯光纤阵列（MT）与扇出型光电器件（FA）进行三维立体集成，实现了光信号在芯片级的高效耦合与路由。传统二维平面集成方式受限于芯片面积和端口密度，而三维结构通过垂直堆叠和层间互连技术，可将光端口密度提升数倍，同时缩短光路径长度以降低传输损耗。多芯MT-FA集成方案的重要在于精密对准与封装工艺，需采用亚微米级定位技术确保光纤芯与光电器件波导的精确对接，并通过低应力封装材料实现热膨胀系数的匹配，避免因温度变化导致的性能退化。此外，该方案支持多波长并行传输，可兼容CWDM/DWDM系统，为数据中心、超算中心等高带宽场景提供每通道40Gbps以上的传输能力，明显提升系统整体能效比。

多芯MT-FA光接口的技术突破集中于材料工艺与结构创新，其重要优势体现在高精度制造与定制化适配能力。制造端采用超快激光加工技术，通过飞秒级脉冲对光纤端面进行非热熔加工，使端面粗糙度降至0.1μm以下，消除传统机械研磨产生的亚表面损伤，从而将通道间串扰抑制在-40dB以下。结构上，支持0°至45°多角度端面定制，可匹配不同波导曲率的芯片设计，例如在三维光子集成芯片中，通过45°斜端面实现层间光路的90°转折，减少反射损耗。同时，组件兼容单模与多模光纤，波长范围覆盖850nm至1650nm，支持从100G到1.6T的传输速率升级。在可靠性方面，经过200次插拔测试后，插损变化量小于0.1dB，工作温度范围扩展至-25℃至+70℃，可适应数据中心、高性能计算等复杂环境。随着三维光子芯片向更高集成度演进，多芯MT-FA光接口的通道数预计将在2026年突破256通道，成为构建光速高架桥式芯片互连网络的关键基础设施。三维光子互连芯片在通信距离上取得了突破，能够实现远距离的高速数据传输，打破了传统限制。

三维光子芯片与多芯MT-FA光传输技术的融合，正在重塑高速光通信领域的底层架构。传统二维光子芯片受限于平面波导的物理约束，难以实现高密度光路集成与低损耗层间耦合，而三维光子芯片通过垂直堆叠波导、微反射镜阵列或垂直光栅耦合器等创新结构，突破了二维平面的空间限制。这种三维架构不仅允许在单芯片内集成更多光子功能单元，还能通过层间光学互连实现光信号的立体传输，明显提升系统带宽密度。例如，采用垂直光栅耦合器的三维光子芯片可将光信号在堆叠层间高效衍射传输，结合42.5°全反射设计的多芯MT-FA光纤阵列，能够同时实现80个光通道的并行传输，在0.15平方毫米的区域内达成800Gb/s的聚合数据速率。这种技术路径的关键在于，三维光子芯片的垂直互连结构与多芯MT-FA的精密对准工艺形成协同效应——前者提供立体光路传输能力，后者通过V形槽基片与低损耗MT插芯确保多芯光纤的精确耦合，两者结合使光信号在芯片-光纤-芯片的全链路中保持极低损耗。Lightmatter的M1000芯片，通过256根光纤接口突破传统CPO限制。江苏3D PIC咨询

在多芯片系统中，三维光子互连芯片可以实现芯片间的并行通信。浙江3D光波导

三维芯片互连技术对MT-FA组件的性能提出了更高要求，推动其向高精度、高可靠性方向演进。在制造工艺层面，MT-FA的端面研磨角度需精确控制在8°至42.5°之间，以确保全反射条件下的低插损特性，而TSV的直径已从早期的10μm缩小至3μm，深宽比突破20:1，这对MT-FA与芯片的共形贴装提出了纳米级对准精度需求。热管理方面，3D堆叠导致的热密度激增要求MT-FA组件具备更优的散热设计，例如通过微流体通道与导热硅基板的集成，将局部热点温度控制在70℃以下，保障光信号传输的稳定性。在应用场景上，该技术组合已渗透至AI训练集群、超级计算机及5G/6G基站等领域，例如在支持Infiniband光网络的交换机中，MT-FA与TSV互连的协同作用使端口间延迟降至纳秒级，满足高并发数据流的实时处理需求。随着异质集成标准的完善，多芯MT-FA与三维芯片互连技术将进一步推动光模块向1.6T甚至3.2T速率演进，成为下一代智能计算基础设施的重要支撑。浙江3D光波导