干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,欢迎新老客户来电!黑龙江应用广干式真空泵电话
日本KASHIYAMASDE60N20干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE60N20MAX排气速度(L/min):100000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):3.7KW外型尺寸WHL[mm]:515×950×1080二、配置 清单:序号描述数量备注1SDE60N20主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,河北经济干式真空泵定制干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,欢迎客户来电!
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都 等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。
日本KASHIYAMASDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M12TXMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1S DE20M12TX主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。浚和(上海)仪器有限公司干式真空泵服务值得放心。
干式螺杆真空泵选型干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。选择真空机组:了解被抽气体成分,气体中含不含 可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,有需求可以来电咨询!河北经济干式真空泵定制
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0.8电源电压:3相A C200-220V,380-480V外型尺寸WHL[mm]二、配置清单:序号描述数量备注1SDE8060主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。黑龙江应用广干式真空泵电话