DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
■特点:
● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。
■安全性:
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。
浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱的公司,欢迎新老客户来电!实验室设备高温无氧烘箱注意事项
C1-007厌氧高温气氛炉(YAMATO)
●用途:电子元器件高温处理工艺。
●用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异
●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30~360℃ 规格参数:
温度范围室温:+30~360℃
温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)
温度上升时间:60min(室温→360℃)
温度下降时间:90min(360℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
室温+50~600℃ 规格参数:
温度范围室温:室温+50~600℃
温度分布精度:±8.0℃(at 600℃)
温度上升时间:90min(室温→600℃)
温度下降时间:120min(600℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
运转功能:定值运转、程序运转
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
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三分钟掌握气氛炉的注意事项
1、除了做实验外,不要停留在高温炉管区。
2、实验工作完毕时,若无人继续使用,请关特殊气体,保留N2运动,炉管保持在standby温度,并查看是否有其它电源该关而没有关,如灯光、煮酸用的小电炉或其它,请随手关掉。
3、处理氢氟酸时,请戴手套,如不小心碰到氢氟酸时,请立刻冲水,用葡萄酸钙加2%水,揉擦伤处15’。
4、石英玻璃制品请小心使用,以免破裂,引起严重割伤。
5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
6、**钾不可与酸类混置,因两者可产生剧毒之**钾气体。
7、一旦发现有妨碍安全之事物时,请立即通知有关人员。
8、操作气氛炉的时候,请节约纯水用量。
9、破晶片、滤纸、棉花棒等,请匆掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板渍水。
10、长短推杆之前端,在还没使用到时,请朝上以免污染。
11、晶片进出炉口时,请匆碰触炉管口,以免污染炉管。
烘箱注意事项与保养
1、使用前注意电压是否正确,请使用机台上所标示之电压,避免电过量,而火灾发生。
2、马达运行方向是否正常,若出风口有气体排出则为正常。(只适用于三相电压380V的机型)
3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出)差异甚大时,不可随意调整线路板之零件或内部参数,应通知本公司派工作人员前往处理。
4、使用过程中温度变化时,请匆随意打开机门。
5、恒温时,当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象,需进行自动演算,详见操作说明。
6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗,以防漏电。
7、禁止放置酒精、粘结剂等,具有可燃性、挥发性之物品于机台内,防止意外发生。
8、在机台附近使用可燃性物品,应适当远离,防止意外发生。
9、请小心将物品放入机台,温度在60度以上的请务必戴高温手套。
10、每次使用结束后,关闭电源。
11、打扫表面及内腔灰尘,保持机器清洁。
12、检查通风口是否堵塞,并清理积尘。
13、机台内的加热器要定期进行检查,除尘及其它杂残留物。
14、突然停电,要把加热开关关闭,防止来电时自动启动。
15、若长期停用,必须对箱体进行内、外清洁,拨掉电源插头罩上塑料防尘套。
*文章*为个人观点,具体操作请在技术人员指导下进行。
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DTN450C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
规格:
①内尺寸(宽×深×高mm):450×450×450
②外形尺寸(宽×深×高mm):1240×1010×1750
③内容积:91L
④棚板层数/层间距:12层/30mm
⑤排气口:40KF法兰
⑥氮气入口:Rc1/2
⑦冷却水入口:Rc3/4
⑧热水出口:Rc3/4,2个
⑨电源(50/60Hz)额定电流:3相AC380V 20A
⑩重量:约900kg
选购品:棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
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气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似
气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似,其设计和计算方法相似。 但是,由于要将受控气氛引入炉内,除了相应的附加装置如气氛发生装置,管道系统和滴灌系统外,还应满足炉子结构的某些特殊要求。
1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成,活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成,密封用螺钉压紧:炉体密封部分采用密封填料,压紧法兰,油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门,它们交替地打开和关闭,以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮,倾斜块,螺栓,炉门倾斜3°。 7°重力压缩密封,或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。
2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置,充电时留有间隙,并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。
3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象,可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件(低压和大电流电源)或辐射管加热元件,隔离气氛。
4.设置前后腔室,淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后,泵送真空并重新填充保护气体,减少了大气消耗。
5.配有安全防爆装置。
实验室设备高温无氧烘箱注意事项
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公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
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