干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;
一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗?东莞NEODRY 36E干式真空泵
干式真空泵的种类特征
螺杆式:利用螺杆型Rotor进行排气输送的容积移送式干式真空泵。
罗茨式:在3片式Rotor和Casing之间的空间运送气体的容积移送式干式真空泵。
爪式:复数的爪型Rotor以轴平行排列,进行相互逆回转来移送气体的干式真空泵。
涡旋式:利用涡旋型的Stage及Rotor的运动组合来进行排气的真空泵。
隔膜式:藉由利用气缸内的隔膜的来回运动来进行排气的容积移送式真空泵。
活塞式:利用气缸内的活塞的来回运动来进行排气压缩以及排气的容积移送式真空泵。 东莞NEODRY 36E干式真空泵干式真空泵的不同系列会有不同的优势。
日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE20N12TX |
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。
日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE1203X
MAX排气速度(L/min):20000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
消费电力(KW):2.0KW
外型尺寸WHL [mm]:400×905×900
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE1203X主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的优缺点您知道吗?东莞NEODRY 36E干式真空泵
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但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。东莞NEODRY 36E干式真空泵
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