日本KASHIYAMASDE30M20干式真空泵技术参数&配置清单
一、技术参数:
式样
SDE30M20
MAX排气速度(L/min)
50000
达到压力(Pa)
0.5
电源电压
3相 AC200-220V,380-480V
外型尺寸WHL [mm]
450×950×1000
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE30M20主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
浚和(上海)仪器有限公司销售干式真空泵价格低廉。南京MU100X干式真空泵
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
南京MU100X干式真空泵4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.
干式真空泵与油泵的性能比较
项 目
NeoDry Series
干式真空泵
油 泵
特 征
○
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。
△
・使用油密封得不到干净的真空。
・排气时会在排气口产生油雾。
・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。
・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性
○
・基本上免维护
△
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。
(根据使用情况,需要频繁更换)
维护成本
○
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。
・更换部件很少,O / H费用便宜。
・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。
△
・油需定期更换产生费用。
(使用氟油的情况费用较高)
・需要更换叶片及阀门。
(因叶片为接触式)
初始投资成本
△
・与油泵相比相对较高。
○
・与干泵相比较便宜。
配套设备费用
○
・不需要油雾凝气阀
△
・需要油雾凝气阀。
・需要油盘。
通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。
1)清洁环保;
2)真空度高;
3)防腐设计(**技术);
4)可抽除可凝性气体及少量粉尘气体(**技术);
5)特殊轴封设计,杜绝被抽介质与润滑系统互相污染;
6)防过载设计;
7)运转平稳;
8)高标准配置;
9)附件配置齐全
10)高质量健全的零配件供应。 浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。
螺杆干式真空泵特征:
①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少,没有易损件,因此它运转可靠,寿命长。
②操作维护方便。
③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力,机器可平稳地高速运行。
④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点,在宽广的压力范围内能保持较高的抽速,排气量几乎不受排气压力的影响.
⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙,因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。 干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。深圳MU180X干式真空泵
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公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
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