干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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日本KASHIYAMA SDE30N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDE30N20 |
MAX排气速度(L/min) |
50000 |
达到压力(Pa) |
0.5 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
消费电力(KW) |
3.3KW |
外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDE30N20主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。
干式真空泵与油泵的性能比较
项 目
NeoDry Series
干式真空泵
油 泵
特 征
○
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。
△
・使用油密封得不到干净的真空。
・排气时会在排气口产生油雾。
・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。
・泵的周围会因油雾污染环境。
维护性
○
・基本上免维护
△
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。
(根据使用情况,需要频繁更换)
维护成本
○
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。
・更换部件很少,O / H费用便宜。
・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。
△
・油需定期更换产生费用。
(使用氟油的情况费用较高)
・需要更换叶片及阀门。
(因叶片为接触式)
初始投资成本
△
・与油泵相比相对较高。
○
・与干泵相比较便宜。
配套设备费用
○
・不需要油雾凝气阀
△
・需要油雾凝气阀。
・需要油盘。
干式真空泵的优点有很多。
完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达 100,000:1 (吸入压力< 0.01 mbar 绝压);吸气量可达1,000 m3/h (更大吸气量的泵在开发中,目前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求);噪音水平低于75Db(A)(噪音低于好轿车内部分贝)维修方便,可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。整机通过欧洲ATEX防爆条例认证。干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。无锡SDL12E50干式真空泵正规代理
干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。东莞SDL12E50干式真空泵报价
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍)
SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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