DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
■特点:
● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式。
■安全性:
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。
高温无氧烘箱,就选浚和(上海)仪器有限公司,用户的信赖之选,有需要可以联系我司哦!雅玛拓高温无氧烘箱正规代理
气氛炉抽真空效果不佳解决办法
一、检查气氛炉自身的密封性
检查一下炉壳,砌体,炉门及所有外界连接零件如风扇,热电偶,辐射管,推拉料机等处的密封性是否正常;
二、检查气氛炉真空泵
真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量,使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时,有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压,从而降低了抽空效能,如果是酸性气体,那就会腐蚀油泵,如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。 雅玛拓高温无氧烘箱正规代理浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱的公司,有想法可以来我司咨询!
DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
规格:
内尺寸(宽×深×高mm):660×500×660
外形尺寸(宽×深×高mm):1300×1000×1750
内容积:216L
棚板层数/层间距:19层/30mm
排气口:40KF法兰
氮气入口:Rc1/2
冷却水入口:Rc3/4
热水出口:Rc3/4,2个
电源(50/60Hz)额定电流:3相AC380V 19A
重量:约1000kg
选购品:棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
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DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
规格:
内尺寸(宽×深×高mm):660×500×660
外形尺寸(宽×深×高mm):1450×1060×1960
内容积:216L
棚板层数/层间距:19层/30mm
排气口:40KF法兰
氮气入口:Rc1/2
冷却水入口:Rc3/4
热水出口:Rc3/4,2个
电源(50/60Hz)额定电流:3相AC380V 27A
重量:约1000kg
选购品:棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯(待机/ 运行/ 故障)、以太网通信功能
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DNN630C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)
1、方式:氮气置换+ 强制送风循环
2、性能:
①使用温度范围:室温+50~360℃
②温度调节精度:±0.5℃(at360℃)
③温度分布精度:±5.0℃(at360℃)
④MAX温度到达时间:约80分钟
⑤氧浓度:20ppm 以下
⑥氧浓度到达时间:≤ 25分(250L/min 氮气)
3、构成:
①内装:不锈钢板
②外装:冷轧钢板,表面耐药品性涂装
③断热材:硅酸铝棉
④加热方式:不锈钢加热管
⑤加热功率:主加热器9KW
⑥N2预热:1KW
⑦冷却机构:不锈钢冷却水换热器
4、控制器:
①温度控制方式:PID控制
②温度控制器:液晶触摸屏+PLC
③运行功能:手动定值运行、自动程序运行
④程序模式:程序运行9个,每个程序可设置9步(可扩展)
⑤附加功能:操作员等级认证
⑥加热器回路控制:SSR驱动
⑦传感器:K型热电偶(温度控制及过升防止器)
5、安全装置:门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 浚和(上海)仪器有限公司高温无氧烘箱服务值得放心。雅玛拓高温无氧烘箱正规代理
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C1-008 洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)
用途:光刻工艺后段,光刻胶固化。
●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
●程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
●快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
●全不锈钢材质。
●在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
室温+30~360℃ 规格参数:
温度范围:室温+30~360℃
温度分布精度:±4.0℃(at 360℃)
温度上升时间:60min(室温→360℃)
温度下降时间:90min(360℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
洁净度:100级
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
室温室温+50~500℃ 规格参数:
温度范围:室温+50~500℃
温度分布精度:±8.0℃(a500℃)
温度上升时间:90min(室温→500℃)
温度下降时间:120min(500℃→50℃)
氧浓度:20ppm以下
氧浓度下降时间:约45分钟
洁净度:100级
装备:氮气导入装置、水冷装置、差压计等
内尺寸:W600×D600×H600mm
电源:3相 AC380V
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浚和(上海)仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商,致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来,持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。
浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时,结合行业和市场需求,加强和客户之间的沟通,并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系,不定期地与合作商进行技术交流,努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员,依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务,得到了广大用户的支持与信赖。
公司主要经营产品包括:等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等,目前主要合作品牌有:日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时,公司还提供专业的技术服务,如设备的维护、验证等。
浚和仪器将始终以行业特点为立足点,以客户需求为导向,不断地提高自身专业技术能力,不停地完善客户服务质量,在发展中保持创新的精神,力求与客户共同进步,为行业的发展作出不懈的努力。