高纯度真空计

电容式薄膜真空计（MEMS规）通过金属薄膜在压力下的形变改变电容值，量程覆盖10⁵~10⁻⁴ Pa，精度±0.25%。温度系数低（<0.01%/℃），适合宽温域应用。硅微加工技术制造的MEMS规体积*硬币大小，响应时间<1 ms。需避免颗粒物损坏薄膜，且腐蚀性气体会侵蚀电极。**型号内置自校准功能，长期稳定性优异。6. 麦克劳真空计（**压缩式）***真空计，通过压缩已知体积气体至毛细管，测量液柱高度差计算压力。量程10~10⁻⁴ Pa，精度±1%，但***静态测量。**蒸汽毒性限制其使用，现多被石英振子规替代。其原理仍作为真空计量标准，用于校准其他真空计。改进型油压缩规使用扩散泵油替代**，安全性提升。皮拉尼真空计的测量原理和特点有？高纯度真空计

超高真空测量技术10⁻⁶ Pa以下需抑制规或磁悬浮转子规（Spinning Rotor Gauge）。后者通过转子转速衰减测压力，量程10⁻¹~10⁻⁷ Pa，精度±3%，***测量无需校准。X射线极限（10⁻⁹ Pa）是电离规的理论下限，突破需采用低温量子传感器（如超导腔频率偏移法）。12. 真空计的响应时间特性皮拉尼计响应约1~10秒（热惯性限制）；电离规需预热3~5分钟（阴极稳定）；电容规**快（<10 ms）。动态压力测量需选择高频响仪表，如MEMS规带宽可达1 kHz。电离规在脉冲压力下可能因电子发射延迟产生相位滞后。杭州mems电容真空计设备厂家皮拉尼真空计是一种用于测量真空压力的仪器。

真空测量就是真空度的测量，而真空度（详细注释见前文：知识分享②|真空如何获得？）是指低于大气压力注释的气体稀薄程度的物理量。通常，将用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。注释：大气压力：通常指一个标准大气压，压强的单位之一。当温度为0℃（273.15K）时，在重力加速度为980.655cm/s2处（即在地球纬度为45°的海平面上），使用**的密度为13.5951g/cm3，则760mm高的**柱所产生的压强为1标准大气压。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，两者相差约千万分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一个标准大气压1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr

3. 电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力，适用于高真空和超高真空范围。（1）热阴极电离真空计原理：利用热阴极发射电子电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹⁰ Torr 到 10⁻³ Torr。优点：精度高、测量范围广。缺点：热阴极易损坏，需要较高维护。应用：高真空和超高真空系统。（2）冷阴极电离真空计原理：利用冷阴极放电电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹² Torr 到 10⁻³ Torr。优点：无需热阴极，寿命长。缺点：启动时间较长，稳定性稍差。应用：高真空和超高真空系统。真空计如何达到使用寿命长久化？

利用气体动力学效用类真空计测量与真空相连的容器表面受到的压力作用而产生的弹性变形或其他力学性能变化来推算真空度的。典型**有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规。a）波尔登规利用弹性元件（如波纹管）在压力作用下的变形来测量真空度。当气体压力作用在波纹管上时，波纹管会产生变形，这种变形可以通过机械传动机构转化为指针的偏转，从而指示出真空度的大小。b）电容薄膜真空计利用薄膜的形变与电容的变化关系来测量真空度。当气压发生变化时，薄膜会相应地产生形变，这种形变会导致电容的改变，进而通过测量电容的变化量来推算出真空度的数值。薄膜电容规具有结构简单、响应迅速、测量范围广等特点。真空计选型需要注意什么？南京mems电容真空计原厂家

皮拉尼真空计如何校准？高纯度真空计

4. 电容式真空计电容式真空计通过测量电容变化来间接测量压力，适用于中真空和高真空范围。（1）电容薄膜真空计原理：利用薄膜在压力作用下的形变引起电容变化来测量压力。测量范围：10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点：精度高、响应快。缺点：成本较高。应用：中真空和高真空测量。5. 振膜式真空计振膜式真空计通过测量振膜频率变化来测量压力，适用于中真空和高真空范围。（1）石英晶体真空计原理：利用石英晶体振膜在压力作用下的频率变化测量压力。测量范围：10⁻⁶ Torr 到 1000 Torr。优点：精度高、稳定性好。缺点：成本较高。应用：高精度真空测量。高纯度真空计