利用带电粒子效用类真空计通过测量气体分子在电场或磁场中被荷能粒子碰撞电离后产生的离子流或电子流来推算真空度。典型**有热阴极电离规和冷阴极电离规。a)热阴极电离规通过加热阴极使其发射电子,进而与气体分子发生碰撞并电离。电离产生的离子流随压力变化,通过测量离子流的变化可以推算出真空中气体分子的密度,进而得到压力大小。热阴极电离规能够提供高精度的真空度测量,常用于科研和高精度工业领域。
b)冷阴极电离规同热阴极一样,也是利用电离气体分子收集离子电流的原理,不同的是,冷阴极利用磁控放电电离气体分子产生离子。在测量过程中无需加热阴极,因此具有较低的能耗和更高的可靠性。它特别适用于需要长时间连续工作的场合,如大型科研设备和工业生产线。其测量精度和稳定性也相当出色。 直空计使用过程中需要注意的事项?mems真空计多少钱
皮拉尼真空计主要由感应头和控制头两部分组成。感应头多为金属或玻璃外壳,内有感测真空压力的灯丝或其他感温元件。控制头则为感应头提供必要的电路,并负责信号放大和信号数字化的工作。根据测量方式的不同,皮拉尼真空计可以分为定电流式和定电压式两种:定电流式:在这种方式中,通过加热灯丝的电流保持恒定。当真空压力改变时,灯丝的温度会发生变化,从而导致灯丝的电阻值发生变化。这种电阻变化可以通过惠斯通电桥来测量,并转换为真空压力值。定电压式:在这种方式中,加热灯丝上的电压保持恒定。当真空压力变化时,灯丝的温度和电阻值也会相应变化。通过测量通过灯丝的电流变化,可以间接测量真空压力。上海金属电容薄膜真空计供应商皮拉尼真空计如何校准?
热传导真空计:利用气体在不同压强下热传导能力随之变化的原理测量气体压强。在这类真空计中,以一定加热电流通过装有热丝的规头,热丝的温度决定于加热和散热之间的平衡。散热能力是气体压强的函数,故热丝的温度随压强而变化。热传导真空计主要用于100~10^-1帕范围,采取特殊措施可扩大测量范围。不过,热传导真空计的指示不但和气体种类有关,而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响,故准确度不高,只作粗略的真空指示用。粘滞真空计:利用在真空中转动或振动的物体受气体分子阻尼作用而发生运动衰减的现象来测量气体压强。气体分子的阻尼力与压强有关。实际使用的粘滞真空计主要有磁悬浮转子真空计和振膜真空计。磁悬浮转子真空计利用可控磁场把不锈钢球悬浮在真空中,用旋转磁场把钢球加速到400转/秒,然后停止加速,任其自然衰减,用电子学方法精确测量其转速衰减率,从而确定压强。这种真空计具有很高的测量精度,吸气、放气速率小,压强指示受气体种类影响小,如钢球表面镀金则可在较恶劣的气氛下工作。然而这种真空计在高真空端的读数受振动影响较大,测量时间也较长。因此,它可作为1~10^-4帕范围内的副标准真空计或用作标准传递真空计。
真空计用于测量真空系统中的压力,使用方法如下:1. 选择合适类型根据测量需求选择合适的真空计类型,常见的有:热偶真空计:适用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。电离真空计:适用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空计:适用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。电容薄膜真空计:适用于宽范围(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安装位置选择:安装在真空系统靠近测量点的位置,避免气流或温度波动影响。连接方式:确保接口密封良好,通常使用法兰或螺纹连接。3. 校准校准步骤:使用标准真空源或校准设备,按说明书进行校准。校准频率:定期校准,确保测量精度。4. 操作启动:接通电源,预热(如有需要)。读数:待读数稳定后记录压力值。调整:根据测量结果调整真空系统。5. 维护清洁:定期清洁传感器,避免污染。检查:检查密封性和电气连接,确保正常工作。更换:传感器老化或损坏时及时更换。6. 注意事项量程:避免超出量程使用,防止损坏。环境:避免在腐蚀性、高温或高湿环境中使用。安全:操作时注意安全,避免高压或真空泄漏风险。7. 故障处理无读数:检查电源和连接。读数不稳:检查密封性和传感器状态。误差大:重新校准或更换传感器。皮拉尼真空计的测量范围取决于所使用的具体型号和规格。
1. 机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力,适用于粗真空和低真空范围。(1)U型管压力计原理:利用液柱(如水或汞)的高度差测量压力。测量范围:通常为大气压到约 1 Torr(133 Pa)。优点:结构简单、成本低。缺点:精度较低,不适用于高真空。应用:实验室粗真空测量。(2)布尔登压力计原理:利用金属管(布尔登管)在压力作用下的形变来测量压力。测量范围:大气压到约 10⁻³ Torr。优点:结构简单、耐用。缺点:精度有限,不适用于高真空。应用:工业粗真空和低真空测量。皮拉尼真空计是一种用于测量真空压力的仪器。高质量真空计设备供应商
真空计使用过程中常见的问题有哪些?mems真空计多少钱
涡轮分子泵的工作原理是在电机的带动下,动叶轮高速旋转(动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度,一般为150~400米/秒)。在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面运动方向上产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。
启动快:涡轮分子泵能够在短时间内迅速启动,并达到稳定的抽气状态。抗射线照射:涡轮分子泵能够抵抗各种射线的照射,适用于高能加速器等辐射环境下的真空抽取。耐大气冲击:涡轮分子泵具有较强的耐大气冲击能力,能够在气压突变的环境中保持稳定的抽气性能。无气体存储和解吸效应:涡轮分子泵在工作过程中不会存储气体,也不会产生解吸效应,因此能够获得清洁的超高真空。无油蒸气污染:涡轮分子泵采用无油润滑系统,避免了油蒸气对真空环境的污染。四、应用领域 mems真空计多少钱