中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案,聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景:半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区,配置防腐蚀监测终端,可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境,实时监测 0.5μm 微粒浓度(采样流量 28.3L/min)、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度(控制在 40%~50% RH±3%)。采用惰性材料封装传感器,检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制,当微粒浓度超标时自动启动局部排风,使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业,符合 SEMI S2 安全标准,洁净度监测准确率 99.92%。中源绿净环境监测系统,助力 35 + 电子厂静电监测,元件损坏率降 10%!苏州手持式环境监测在线监测
中源绿净针对医疗器械组装无尘车间的环境监测方案,聚焦于微粒与微生物的双重管控。应用场景:医疗器械无尘组装车间。依据 ISO 13485 医疗器械质量管理体系,在 8 级洁净组装区部署监测终端,同步监测 0.5μm 微粒浓度(采样频率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每 2 小时检测 1 次)、工作台面照度(≥300lux,精度 ±20lux)及温湿度。采用接触碟法微生物采样技术,检测结果出具时间缩短至 2 小时,准确率 99%。通过与组装设备联动,当微生物超标时自动锁定作业区域,使医疗器械无菌合格率提升至 99.95%。已服务于迈瑞医疗、鱼跃医疗等企业,助力通过 FDA 现场核查,环境监测合规率 100%。苏州芯片半导体环境监测测试国家标准中源绿净的环境监测设备,帮 45 + 啤酒厂发酵环境控制,口感稳定性提 12%!
中源绿净针对化妆品乳化洁净室的环境监测方案,聚焦于微粒与微生物的协同管控。应用场景:化妆品膏体乳化洁净车间。依据《化妆品生产质量管理规范》,在 C 级乳化区部署监测终端,同步监测 0.5μm 微粒浓度(采样频率 1 次 / 5 秒)、表面微生物(每小时检测 1 次)、乳化锅周边温度(30~80℃,精度 ±0.5℃)及湿度。采用 ATP 生物荧光检测技术,微生物检测时间缩短至 15 分钟,准确率 98.6%。通过与乳化系统联动,当微粒超标时自动加强搅拌区净化,使膏体杂质检出率下降 58%。已服务于珀莱雅、上海家化,助力通过化妆品 GMP 认证,环境监测合规率 100%。
中源绿净为半导体离子注入洁净室定制的洁净度监测系统,强化了高能环境下的监测可靠性。应用场景:半导体离子注入洁净车间。依据 SEMI F47 标准,在 100 级注入区部署耐辐射监测终端,可承受高能离子辐射环境,实时监测 0.3μm 微粒浓度、注入区温度(20~25℃±0.5℃)及静电电位。采用防辐射涂层处理传感器,在辐射环境下检测精度衰减≤5%/ 年。通过与离子源设备联动调节,当微粒浓度异常时自动优化束流参数,使离子注入掺杂不均匀率下降 42%。已在中芯宁波、联电等企业应用,通过半导体设备认证,监测数据追溯通过率 100%。中源绿净的环境监测方案,助力 30 + 企业提升生产效率,降低生产成本!
中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中,打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景:半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区,采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署,实时监测 0.1μm 微粒浓度(采样流量 50L/min,数据更新周期 2 秒)、温度(23±0.1℃,精度 ±0.05℃)、湿度(45±2% RH,精度 ±1%)及相邻区域压差(≥25Pa,精度 ±1Pa)。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm,可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节,当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿,使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用,符合 SEMI S2 安全标准,环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净环境监测系统,助力 45 + 保健食品厂洁净监测,达标率 100%!苏州万级环境监测计数器
中源绿净的环境监测方案,让 55 + 洗涤剂厂生产环境监测,原料稳定性提 10%!苏州手持式环境监测在线监测
中源绿净为食品无菌加工无尘车间开发的环境监测系统,重点强化了微生物与压差梯度的 管控。应用场景:食品无菌灌装无尘车间。针对 C 级无菌加工区,部署每 2.5 平方米 1 个监测点,同步采集浮游菌(每 30 分钟采样 1 次,检测下限 1CFU/m³)、0.5μm 微粒浓度、加工区与外界压差(≥15Pa,精度 ±1Pa)及温湿度。采用 ATP 生物荧光检测技术,微生物检测时间从传统 48 小时缩短至 15 分钟,准确率达 98.8%。系统与灌装设备联动,参数异常时立即触发停机并启动消毒程序,使食品微生物超标率下降 62%。已在娃哈哈、统一企业等应用,符合 GB 14881 食品生产通用卫生规范,环境数据审计通过率 100%。苏州手持式环境监测在线监测