十级环境监测测试国家标准

中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中，打造了超微颗粒 管控体系。应用场景：半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器， 小检测粒径达 0.05μm，检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动，当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI F21 洁净度标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。中源绿净为 25 + 肉类加工厂做环境监测，细菌总数降 20%，食品安全更有保障！十级环境监测测试国家标准

中源绿净为核电部件检测洁净室开发的环境监测系统，重点强化了辐射与洁净度协同监测能力。应用场景：核电承压部件无损检测洁净室。针对检测区 8 级洁净环境，部署耐辐射监测终端（耐受累计辐射剂量 100kGy），同步采集 1μm 微粒浓度（采样频率 1 次 / 10 秒）、空气中放射性气溶胶含量（量程 0~100Bq/m³，精度 ±5Bq/m³）、温湿度及气压。采用半导体辐射探测器实现放射性实时监测，响应时间≤2 秒，数据传输采用光纤加密方式，确保抗干扰性和保密性。系统具备远程操控功能，支持在辐射控制区外完成参数配置与数据调取，减少人员辐射暴露风险。通过与通风系统联动，当微粒超标时自动提升换气次数至 60 次 / 小时，使部件检测缺陷误判率下降 45%。已在中核武汉核电运行技术股份有限公司等应用，符合 GB 18871 辐射防护标准，环境监测数据合规率 100%。手持环境监测在线监测中源绿净的环境监测系统，支持与多种管理系统对接，实现数据高效管理！

中源绿净为食品冻干包装洁净室定制的环境监测系统，强化了微生物与气压的协同管控。应用场景：冻干食品无菌包装车间。针对 C 级包装区，部署防尘监测终端，同步监测沉降菌（每小时培养 1 次）、包装区与外界压差（≥10Pa，精度 ±1Pa）、温度（18~22℃，精度 ±0.5℃）及湿度（35%~45% RH）。采用 ATP 生物荧光检测技术，微生物检测时间从 48 小时缩短至 15 分钟，准确率达 98.5%。通过与包装机联动，当微生物超标时立即启动紫外线消毒，使食品包装后微生物超标率下降 60%。已在良品铺子、三只松鼠应用，符合 GB 23790 冻干食品标准，环境监测数据准确率 100%。

中源绿净针对航空电子装配洁净室的环境监测方案，聚焦于微振动与静电的 管控。应用场景：航空机载电子设备装配洁净室。依据 AS9100 航空质量管理体系要求，在 100 级洁净装配区部署一体化监测终端，同步监测 0.3μm 微粒浓度、环境振动（频率范围 1~500Hz，测量精度 ±0.001mm/s）、静电电压（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）及气流速度（0.2~0.3m/s）。采用压电式振动传感器和非接触式静电探头，数据采样率达 1000Hz，确保捕捉细微参数变化。通过振动源识别算法，可快速定位设备运行引发的振动超标，配合静电消除器联动控制，使电子元件静电损伤率下降 58%。已服务于霍尼韦尔航空、中航工业电子等 8 家企业，助力其通过 DO-160 航空电子环境测试，环境稳定性达标率保持在 99.93% 以上。中源绿净的环境监测方案，助力 30 + 企业提升环境管理水平，树立良好企业形象！

中源绿净为半导体离子注入洁净室定制的洁净度监测系统，强化了高能环境下的监测可靠性。应用场景：半导体离子注入洁净车间。依据 SEMI F47 标准，在 100 级注入区部署耐辐射监测终端，可承受高能离子辐射环境，实时监测 0.3μm 微粒浓度、注入区温度（20~25℃±0.5℃）及静电电位。采用防辐射涂层处理传感器，在辐射环境下检测精度衰减≤5%/ 年。通过与离子源设备联动调节，当微粒浓度异常时自动优化束流参数，使离子注入掺杂不均匀率下降 42%。已在中芯宁波、联电等企业应用，通过半导体设备认证，监测数据追溯通过率 100%。中源绿净在环境监测方面，为 30 + 企业提供一站式环境监测解决方案，省心省力！百万级环境监测计数器使用步骤

中源绿净为 30 + 企业提供环境监测数据分析报告，为企业决策提供有力依据！十级环境监测测试国家标准

中源绿净在电子元器件洁净车间洁净度监测中，构建了多粒径微粒全流程管控体系。应用场景：电子元器件生产洁净车间。针对 100 级至 1000 级洁净环境，采用每 2 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 2 秒 / 次。系统搭载激光散射式粒子计数器， 小检测粒径达 0.1μm，检测精度误差≤±10%。通过自研的微粒溯源算法，能快速定位污染源位置，当微粒浓度超过阈值时自动联动 FFU 风机过滤单元调节风速，使元器件表面微粒附着率下降 58%。已在富士康、立讯精密等企业应用，符合 ISO 14644-1 洁净室标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.94%。十级环境监测测试国家标准