CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分,其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm,其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸,因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用!欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题!驰光机电科技有限公司交通便利,地理位置优越。福建CPS高精度纳米粒度分析仪
UHR型可达1%,良好性能:CPS高精度纳米粒度分析仪能够提供高分辨率准确的分析结果,即使对于使用其它分析方法非常难分析的样品,CPS依然能够提供满意的分析结果。高分辨率:CPS具有强大的分辨率,粒径差别在2%以内的窄峰可以被完全分辨出来。所示样品包含五种不同的聚苯乙烯标定颗粒,在图中可以清楚地看到它们完全被分辨出来呈现为五个单独的粒度峰。高准确度:可追溯&校准到NIST标准颗粒的可靠、重复性结果。高精度:与SEM/显微镜分析结果的对比。福建CPS高精度纳米粒度分析仪驰光机电不断完善自我,满足客户需求。
对于粒径分布范围很宽的样品,通过可选的速度调节功能圆盘,只需常规圆盘分析时间的1/20。经过CPS纳米粒度仪对裂解后炭黑进行粒径测试后的结果所示:与扫描电镜所显示的结果基本一致,裂解后的炭黑较小粒径为3um,较大可至50多微米,并且出现很多峰值,证明样液中具有不同粒径且含量不同的的炭黑。峰值粒径处于30um左右。真实反映了不同炭黑粒径的分布状态。随着半导体工业飞速发展,电子器件尺寸缩小,要求晶片表面平整度达到纳米级。作为芯片制造不可或缺的一环,CMP工艺在设备和材料领域历来是受欢迎的。
PEDOT是EDOT(3,4-乙撑二氧噻吩单体)的聚合物,PEDOT具有高电导率、高度的环境稳定性、对可见光具有高透过率等特点,大量用于光伏、电容器、电致变色、触摸屏等行业,用来制作抗静电涂层、OLED(有机电激发光二极管)、有机薄膜太阳能电池材料、电极材料、电化学生物传感器等。PEDOT及其复合材料,比如PEDOT/PSS(聚乙撑二氧噻吩和聚苯乙烯磺酸根阴离子的化学聚合物)的粒度大小和粒度分布与其导电性能相关。CPS纳米粒度分析仪可以提供确切稳定的测量分析,有助于终产品导电性能的评价。CPS纳米粒度分析仪测定PEDOT/PSS得到的结果,粒径为0.022微米(仪器使用转速为24,000转/分钟)。驰光机电科技有限公司获得市场的一致认可。
提供数量、面积和体积等指标的平率分布图和表、累计分布图和表格粒度和粒型参数分布的结果;能够自动产生实验结果world报告。激光和视频分析产生的信息,很容易通过直观的数据报表软件得到。测量结果可以各种表格和图显示出来,这些表格和图可以由用户选择,以便正确显示需要的信息。通过数据挖掘技术,很容易实现数据比较和分析,允许对覆盖图和比较表进行编辑。轻点一下鼠标,就能生成Word格式的样品分析报告,该文件包括样品制备、粒径和粒形结果,还带有图像或视频信息。驰光机电科技有限公司以快的速度提供前列的产品质量和好的价格及完善的售后服务。福建CPS高精度纳米粒度分析仪
驰光机电科技技术力量雄厚,工装设备和检测仪器齐备,检验与实验手段完善。福建CPS高精度纳米粒度分析仪
能够允许用户为不同样品设置标准测量方法SOP,并且可以对SOP进行编辑和保存。EyeTech 是一个模块化的系统,可以选配10种不同的测量池。更换测量池简便快速,仪器便于分析各种颗粒,如液相、乳化液、干粉、纤维、磁粉、加热的液体和气溶胶等。这些测量池模块都是配合不同的分析方法而开发的,确保能够根据样品的特性来测量。纤维测量池:ACM-104L,气溶胶测量池ACM-106,微流量测量池ACM-108,载玻片测量池ACM-110,加热测量池ACM-111,自由落体测量池ACM-112。在每一次分析过程中,激光光束与颗粒之间发生了上百万次的交互作用。福建CPS高精度纳米粒度分析仪
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