云南粒度分析仪厂家

磨料的粒度测量：以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用，CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米，典型的过大聚集体为1-10微米，并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸，同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒，提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%，粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光机电科技有限公司的行业影响力逐年提升。云南粒度分析仪厂家

UHR型可达1%，良好性能：CPS高精度纳米粒度分析仪能够提供高分辨率准确的分析结果，即使对于使用其它分析方法非常难分析的样品，CPS依然能够提供满意的分析结果。高分辨率：CPS具有强大的分辨率，粒径差别在2%以内的窄峰可以被完全分辨出来。所示样品包含五种不同的聚苯乙烯标定颗粒，在图中可以清楚地看到它们完全被分辨出来呈现为五个单独的粒度峰。高准确度：可追溯&校准到NIST标准颗粒的可靠、重复性结果。高精度：与SEM/显微镜分析结果的对比。云南粒度分析仪厂家驰光在客户和行业中树立了良好的企业形象。

系统配有冲洗系统，减少了由于系统污染引起的计划外停机维护时间。样品预处理系统：正确设计和操作样品调节系统是分析仪成功运行的关键。该系统基于现场经验针对这种复杂的工艺样品，专门为低维护操作而设计。低维护的固体颗粒分离器。不带过滤元件可将颗粒去除达到2-3微米，减少了维护量。先进的安全系统，保护分析仪免受高压影响和防止产品泄漏。简单校准。标准的引入是一种手工操作，只需使用注射器即可，不需要定期重新校准，无样本回收系统。

颗粒形状信息很重要，混合样品或未知组分样品，需要高分辨率的数量分布来准确分析样品中的少数特殊颗粒，正在考虑将实验室检测扩大到工业规模的检测，我们还提供原位在线粒形分析系统，可用于高温，高压以及腐蚀性环境。动态测量系统，显微镜同等级的精度真实原始数据的存储，强大的预处理工具，高质量的图像分析结果，可精确测量非球形颗粒，供40个ISO标准粒形参数，包含粒径、形状因子、球形度、圆度、对比和表格，可保存分析测量图像和录保，图像分析结果可追溯。驰光机电科技有限公司推行现代化管理制度。

而化学机械抛光（Chemical mechanical polishing，CMP）是集成电路芯片的一个关键制程，国内抛光所用关键材料CMP抛光垫，几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%，170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%，6-80nm)、氧化铈(6Vol%，200-240nm)或氧化铝颗粒，它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%)，容易聚集。随着贮存时间延长，它的粒度可能增大从而导致损害的产生。驰光机电科技有限公司设备的引进更加丰富了公司的设备品种，为用户提供了更多的选择空间。云南粒度分析仪厂家

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仪器的主要参数为：测量范围：0.005-75μm，光源：405nmLED，旋转速度可选：12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM，标准分析圆盘：CR-39聚合物（耐有机溶剂和水溶液），可选配：低密度样品分析扩展、变速圆盘；自动密度梯度液生成器（型号AG300）；自动进样器（型号AS200）；标定用标准颗粒。激光粒度仪根据光学衍射和散射的原理，从激光器发出的激光束经显微物镜聚集，滤波和准直后，变成直径约10mm的平行光束，该光束照射到待测的颗粒上，就发生了散射，散射光经傅立叶透镜后，照射到光电探测器上的任一点都对应于某一确定的散射角。云南粒度分析仪厂家

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