CMP浆料粒度分析的难点在于必须在抛光过程中全浓度条件下快速测定平均颗粒直径和粒度分布,因为稀释可能导致浆料稳定性和粒度的变化(比如进一步的团聚或解聚),另外在稀释后的浆料中很难检测本来就较少量的团聚体。CPS-24000型纳米粒度分析仪是较新型的纳米粒度分析仪,它采用斯托克斯定律分析方法,V=D²(ρP-ρF)G/18η,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量,因此粒径相差小至1%的颗粒都可以明显分辨出来。适用于稀到高浓度的样品粒度测定,对团聚体的存在非常敏感。驰光机电科技有限公司拥有先进的产品生产设备,雄厚的技术力量。江苏纳米粒度分析仪厂家
颗粒的大小称作粒度,颗粒的直径称做粒径。通常用粒径来表示粒度,粒度测量仪可以利用颗粒对激光的散射特性作等效对比,可快速有效测量粒径,采用会聚光傅立叶变换测试技术保证在短焦距获得大量程,有效提高仪器的分辨能力对小颗粒有的测试能力,是工厂、研究所、高等院校等机构进行相关粒度测试的理想选择。粒度测量仪的应用现状与前景展望:基于光散射原理的激光粒度仪已经大量应用于各领域的粒度检测。如:各种非金属粉体,如重钙、轻钙、滑石粉、高岭土、石墨、硅灰石、水镁石、重晶石、云母粉、膨润土、硅藻土、黏土等。江苏纳米粒度分析仪厂家驰光机电科技以精良的产品品质和优先的售后服务,全过程满足客户的需求。
仪器的主要参数为:测量范围:0.005-75μm,光源:405nmLED,旋转速度可选:12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM,标准分析圆盘:CR-39聚合物(耐有机溶剂和水溶液),可选配:低密度样品分析扩展、变速圆盘;自动密度梯度液生成器(型号AG300);自动进样器(型号AS200);标定用标准颗粒。激光粒度仪根据光学衍射和散射的原理,从激光器发出的激光束经显微物镜聚集,滤波和准直后,变成直径约10mm的平行光束,该光束照射到待测的颗粒上,就发生了散射,散射光经傅立叶透镜后,照射到光电探测器上的任一点都对应于某一确定的散射角。
光电探测器阵列由一系列同心环带组成,每个环带是一个单独的探测器,能将投射到上面的散射光线形地转换成电压,然后送给数据采集卡,该卡将电信号放大,再进行AID转化后送入计算机。激光粒度仪依据全量程米氏散射理论,充分考虑到被测颗粒和分散介质的折射率等光学性质,根据激光照射在颗粒上产生的散射光能量反演出颗粒群的粒度大小和粒度分布规律。激光粒度仪注意事项:本仪器适用于<1mm粒度测定,>1mm的应过筛测定;必须先开计算机电源,工作正常后,再开仪器电源,顺序不能反了,否则信号送不到计算机。驰光产品适用范围广,产品规格齐全,欢迎咨询。
磨料的粒度测量:以上我们了解到磨料在CMP工艺中起到了关键性的作用,CMP磨料颗粒的典型尺寸范围是50-250纳米,典型的过大聚集体为1-10微米,并出现在ppm范围内。颗粒表征的挑战来自于精确确定纳米级颗粒尺寸,同时还识别出相对较少的微米级聚集体。CPS纳米粒度分析仪表征磨料颗粒粒度的有力工具。它可以分析任何粒度分布介于0.005和75微米的颗粒,提供比其他粒度分析方法好2到10倍的分辨率。较小峰值宽度可小至峰值直径的2%,粒径差别在大于3%的窄峰可以被完全分辨出来。驰光机电愿和各界朋友真诚合作一同开拓。黑龙江二氧化钛粒度分析仪价格
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CPS分析仪基本原理:CPS纳米粒度分析仪依据Stokes定律,V=D²(ρP-ρF)G/18η,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量。待测样品从圆盘中心进入高速旋转的圆盘,在离心力的作用下发生沉降,沉降的速度遵循Stokes公式,在距离圆盘的边缘固定位置设有激光检测器,颗粒按尺寸大小依次通过探测器,仪器记录颗粒通过探测器的时间,由于所有颗粒走过的路程都一样,因此,颗粒运动所需的时间与颗粒本身尺寸的平方成反比,激光检测器同时检测颗粒对光的散射程度。江苏纳米粒度分析仪厂家
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