而化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,CMP)是集成电路芯片的一个关键制程,国内抛光所用关键材料CMP抛光垫,几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%,170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%,6-80nm)、氧化铈(6Vol%,200-240nm)或氧化铝颗粒,它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%),容易聚集。随着贮存时间延长,它的粒度可能增大从而导致损害的产生。建立双方共赢的伙伴关系是我们孜孜不断的追求。云南二氧化钛粒度分析仪厂家
光电探测器阵列由一系列同心环带组成,每个环带是一个单独的探测器,能将投射到上面的散射光线形地转换成电压,然后送给数据采集卡,该卡将电信号放大,再进行AID转化后送入计算机。激光粒度仪依据全量程米氏散射理论,充分考虑到被测颗粒和分散介质的折射率等光学性质,根据激光照射在颗粒上产生的散射光能量反演出颗粒群的粒度大小和粒度分布规律。激光粒度仪注意事项:本仪器适用于<1mm粒度测定,>1mm的应过筛测定;必须先开计算机电源,工作正常后,再开仪器电源,顺序不能反了,否则信号送不到计算机。吉林激光粒度粒形分析仪报价驰光机电通过专业的知识和可靠技术为客户提供服务。
激光检测器同时检测颗粒对光的散射程度,根据米氏散射理论,得出不同尺寸颗粒的相对含量,从而得到颗粒粒径的分布曲线。主要参数:测量范围:0.005-75μm,光源:405nmLED,旋转速度:12.000RPM、18.000RPM、24.000RPM,标准分析圆盘:CR-39聚合物(耐有机溶剂和水溶液),可选 配:低密度样品分析扩展、变速圆盘;自动密度梯度液生成器(型号AG300);自动进样器(型号AS200);标定用标准颗粒。半导体CMP用抛光垫、清洗液、修整盘、抛光液、纳米研磨粒子以及OLED显示光敏聚酰亚胺、封装墨水、低温光阻材料等20余款“卡脖子”材料。
低维护配置允许安装分析仪在常压下将样品返回的合适位置,进一步减少维护需求。C-Quand在线EDXRF分析仪的优势:1.带有十五个测量通道,可以同时分析15种元素的含量。2.没有运动部件,不需要更换动力窗模块。3.运行维护成本低,无后期耗材成本。4.维护操作简单,带有全自动样品池清洗模块,每次维护时间多数十分钟,宕机时间短。5.内置标准样品,不需要停机校准,实现真正的完全在线测量。6.测量结果不受样品密度和原料种类影响,直接测量元素含量。驰光机电科技有限公司生产的设备产品质量上乘。
主要特点如下:1.所需样品量少。每次只需要0.1ml,这在疫苗研发、化学合成方面具有较大的优势。2.一次测试可到40多个样品。在前处理准备工作做完以后,可结合标准颗粒一批次测试40多个样品。3.分辨率高。同激光散射和颗粒计数等方法比较,对于样品中即使只有1%峰值差异的颗粒,依旧可以很好地区分测量出来,即可以得到真实的粒度分布结果。4.灵敏度高。低至 10-8g的样品就可以满足日常分析需要。5.分析时间短。和传统沉降法比较,由于采用更快的圆盘转速和高速检测器,因此较大缩短了分析所需时间。驰光机电科技有限公司累积点滴改进,迈向优良品质!福建二氧化钛粒度分析仪哪家好
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CMP浆料粒度分析的难点在于必须在抛光过程中全浓度条件下快速测定平均颗粒直径和粒度分布,因为稀释可能导致浆料稳定性和粒度的变化(比如进一步的团聚或解聚),另外在稀释后的浆料中很难检测本来就较少量的团聚体。CPS-24000型纳米粒度分析仪是较新型的纳米粒度分析仪,它采用斯托克斯定律分析方法,V=D²(ρP-ρF)G/18η,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量,因此粒径相差小至1%的颗粒都可以明显分辨出来。适用于稀到高浓度的样品粒度测定,对团聚体的存在非常敏感。云南二氧化钛粒度分析仪厂家
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