10万级洁净室工程建设与设计

洁净室的温湿度控制与静电防护措施洁净室需同时控制温湿度与静电，以保障工艺稳定性与产品安全。温湿度控制方面，半导体制造通常要求温度22℃±1℃、湿度45%RH±5%RH：温度过高可能导致设备热膨胀，影响加工精度；湿度过低则易产生静电，吸附微粒；而生物医药洁净室可能要求温度18℃-26℃、湿度30%RH-70%RH，以适应不同药品的储存需求。静电防护方面，洁净室通过以下措施降低静电风险：（1）地面铺设防静电地板（表面电阻1×10⁶-1×10⁹Ω），通过导电网络将静电导入大地；（2）墙面与设备外壳喷涂防静电涂料（表面电阻＜1×10¹²Ω），减少静电积累；（3）人员穿戴防静电无尘服（通过导电纤维将静电导出），并佩戴防静电手环（电阻1MΩ±10%），接触设备前需触摸接地柱释放静电；（4）空气处理系统配置离子风机，通过电离空气产生正负离子，中和物体表面静电。例如，某液晶面板厂通过上述措施，将洁净室内静电电压从＞1000V降至＜100V，降低了面板生产中的静电击穿率。运行优化方面，避免因人工操作失误导致能耗浪费。10万级洁净室工程建设与设计

十万级洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、菌等污染物排除，并将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电掌控在某一需求范围内，不论外在环境条件如何变化，洁净室内均能维持设定所要求的洁净度、温湿度及压力等性能。十万级洁净室很主要作用在于掌控产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好环境空间中生产、制造、测试，提升产品质量，是污染敏感产品重要的生产保证设施。万级洁净室 装修湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电掌控在某一需求范围内。

（4）工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。（5）工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。（6）洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。（7）洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。

锂电池是一种由锂金属或锂合金为负极材料、使用非水电解质溶液的电池，可分为锂金属电池和锂离子电池。由于锂金属的化学特性非常活泼，使得锂金属的加工、保存、使用，对环境要求非常高。锂电池恒温恒湿洁净室主要用于新能源行业锂电池及配套产品的生产，打造一个恒温恒湿洁净环境，确保锂电池生产不受外界环境影响，提高产品的质量及性能。锂电池车间的环境控制对锂电池的蓄能和安全性都有着至关重要的作用锂电池洁净室主要作用在于控制锂电池产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好环境空间中生产、制造、测试，提升产品质量，是锂电池产品重要的生产保证设施。天花板采用盲板吊顶系统，由可拆卸的铝合金盲板与高效过滤器组成，便于维护与更换过滤器。

锂电池这种以锂金属或锂合金为负极材料，使用非水电解质溶液的电池。由于含锂离子，所以其锂金属的化学性质异常活跃，所以在实际生产、加工或保存锂金属的时候对环境的要求相对更高。首先，关于湿度控制是关键一步，由于锂电池生产设备普遍较大，生产线较长，生产车间空间也相应较大，冷负荷较大。除湿机组的设计选型和位置的选择必须综合计算整个空间的总湿度。和冷负荷，同时考虑节能减排的需要，冷水机、水泵、换热装置等设备应统一安装在站房内，并预留管道和阀门，以备后期可能扩建之用；然后通过冷冻水管道分区输送冷源。然而，环境控制、纳米级微过滤、多系统协同运行的稳定性等问题，仍是行业需突破的技术瓶颈。徐州百级洁净室

而生物医药洁净室可能要求温度18℃-26℃、湿度30%RH-70%RH，以适应不同药品的储存需求。10万级洁净室工程建设与设计

洁净室在半导体制造中的关键作用半导体制造对洁净度的要求堪称严苛，洁净室是保障芯片良率的设施。在晶圆加工过程中，光刻、蚀刻、薄膜沉积等工序需在ISO1-3级洁净室中进行，因为空气中微粒会直接污染晶圆表面，导致电路短路或开路。例如，某12英寸晶圆厂的光刻车间采用ISO1级洁净室，通过垂直单向流（层流）设计，使空气以0.45m/s的速度垂直向动，将微粒携带至地面回风口；同时，车间内所有设备（如光刻机、涂胶显影机）均采用密闭设计，避免内部机械运动产生微粒外泄。数据显示，在普通环境中生产的芯片良率30%，而在ISO1级洁净室中可提升至85%以上。此外，洁净室还需控制化学污染物（如氨气、有机蒸气），通过活性炭过滤器与化学过滤系统，将关键工序区域的化学污染物浓度控制在ppb（十亿分之一）级别，防止对晶圆表面造成化学腐蚀。10万级洁净室工程建设与设计