随着科学技术的发展,许多产品都涉及有密集的 微孔阵列结构,如场致发射阴极微锥阵列衬底。场致 发射阴极微锥阵列衬底需要制备大量密集的倒锥微 孔,用激光加工单个倒锥孔时效率高,但使用常用的 串行加工高密集微孔阵列时会存在加工效率低,加工 时间长等问题。激光并行加工技术可以很好地解 决上述问题,激光分光器可以使激光分束,实现并行 加工。目前已经研发出多种激光分束器,如空间调制器、分光棱镜等。 激光微孔加工的注意事项。东莞激光微孔加工厂家
随着微电子、微电机系统、微光学等领域的不断 发展,激光微孔阵列加工技术在众多脆硬性材料上加 工高质量、高密集的微孔方面有着广阔的应用前景, 已经成为当前研究的重点。对于直径小于0.5mm的孔可采用什么加工方式呢?
1、线切割︰此种工艺加工低于0.5mm的孔,孔径周边会有一些缺陷。由于线切割会产生一些油污等,需要后期进行清洗。另外,线切割中丝的快慢直接影响到孔径的垂直边的直线度,因此多采用慢走丝加工。关键处在下刀和收刀口的衔接部份,需要后期毛刺的抛光处理。相对来说效率比较低,而且对于一些超薄材料的加工,不太适合。
2、相比于线切割,激光加工效率更高一些,但也存在一些不足,比如下刀和收刀口的棱边处理,激光一般通过光温烧切材料,容易在孔径周边留下一些残渣,这种残渣很难清理。另外,虽然激光加工的孔可低于0.1mm,但通过放大以后会出现波浪纹。激光加工低于0.5mm的孔容易通过高温改变材料的性质,对于一些特殊材料,容易产生影响。 上海激光微孔加工方法影响激光微孔加工的因素有哪些?
激光打孔的过程可大致分为如下几个阶段: 首 先,激光束照射样品,样品吸收光能; 其次,光能转化 为热能,对样品无损加热; 接着,样品熔化、蒸发、汽化 并飞溅、破坏; 然后,作用结束,冷凝形成重铸层。其中,激光脉冲数目和激光单脉冲能量对加工出的微孔 锥度有一定影响。在一定范围内微孔深度和激光脉 冲数目正相关,微孔锥度和激光脉冲数目负相关,微 孔锥度和激光单脉冲能量负相关。通过选择适当 的激光脉冲个数和单脉冲能量,可以得到所需深度和 锥度的倒锥微孔。
微孔加工方法:
线切割是采取线电极连续供丝的方式,即线电极在运动过程中完成加工,因此即使线电极发生损耗,也能连续地予以补充,故能提高零件加工精度。慢走丝线切割机所加工的工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.8μm及以上,且慢走丝线切割机的圆度误差、直线误差和尺寸误差都较快走丝线切割机好很多,所以在加工高精度零件时,慢走丝线切割机得到了广泛应用。但是对于微孔加工来讲,使用线切割工艺材料容易变形,如果批量生产的话线切割无法应对,并且价格昂贵,客户一般难以接受。 水助激光加工适合于各种高精度微细薄片器件的研制。
激光微立体光刻(mSL)技术
它是立体光刻(SLA)工艺这一先进的快速成型技术应用到微制造领域中衍生出来的一种加工技术,因其加工的高精度与微型化,故称为微立体光刻(Microstere-olithography 或mSL)。同其他微加工技术相比,微立体光刻技术一大特点是不受微型器件或系统结构形状的限制,可以加工包含自由曲面在内的任意三维结构,并且可以将不同的微部件一次成型,省去微装配环节。该技术还有加工时间短、成本低、加工过程自动化等优点,为微机械批量化生产创造了有利条件。 激光微孔加工求推荐的公司。福建哪有微孔加工
激光微孔加工是否会更精确一些?东莞激光微孔加工厂家
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